[實用新型]一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件

有效

• 申請號: 201220535427.8
• 申請日: 2012-10-18
• 公開（公告）號: CN203191634U
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 謝會開;周亮;陳巧
• 申請（專利權）人: 無錫微奧科技有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件，包括MEMS微鏡（1）、基底（3）、電引線（31），所述電引線（31）設置于所述基底（3）上，其特征在于：所述MEMS微鏡（1）與所述基底（3）之間連接有驅動臂（2），所述MEMS微鏡（1）底部無支撐地懸空設置。?

2.根據權利要求1所述的一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件，其特征在于：所述MEMS微鏡（1）包括邊框（11）、鏡體（13）和鏡體驅動臂（12），所述鏡體驅動臂（12）連接于邊框（11）與鏡體（13）之間。?

3.根據權利要求1所述的一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件，其特征在于：所述驅動臂（2）的驅動方式為電熱驅動、壓電驅動或熱膨脹聚合物。?

4.根據權利要求1所述的一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件，其特征在于：所述驅動臂（2）包括至少兩段雙層結構，所述雙層結構的第一段（26）與第二段（27）包括第一材料層（24）和第二材料層（25），所述第一段（26）的第一材料層（24）設置在第二材料層（25）的上方，所述第二段（27）的第一材料層（24）設置在第二材料層（25）的下方；所述第一段（26）與第二段（27）依次連接設置。?

5.根據權利要求1所述的一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件，其特征在于：所述驅動臂（2）包括至少兩段多層結構，所述多層結構的第一段（26）與第二段（27）包括第一材料層（24）和第二材料層（25），所述第一段（26）的第一材料層（24）設置在第二材料層（25）的上方，所述第二段（27）的第一材料層（24）設置在第二材料層（25）的下方；所述第一段（26）與所述第二段（27）還包括除第一材料層（24）與第二材料層（25）之外的一層或多層材料結構，所述第一段（26）與第二段（27）依次連接設置。?

6.根據權利要求1所述的一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件，其特征在?于：所述驅動臂（2）至少包括上層材料層（21）和下層材料層（22），所述上層材料層（21）與下層材料層（22）的材料熱膨脹系數不同。?

7.根據權利要求6所述的一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件，其特征在于：所述上層材料層（21）的上表面、下層材料層（22）的下表面或上層材料層（21）和下層材料層（22）之間設置有一層或多層材料層。?

8.根據權利要求4至6任一項所述的一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件，其特征在于：所述驅動臂（2）中至少有一層是導體層。?

9.根據權利要求1所述的一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件，其特征在于：所述基底（3）上設有焊盤，所述電引線（31）與所述基底（3）上的焊盤導電連接，所述電引線（31）的另一端與驅動臂（2）的導體電連接。?

10.根據權利要求1所述的一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件，其特征在于：所述MEMS微鏡的鏡體（13）自身傾斜角度固定，或者鏡體（13）自身傾斜角通過其周圍的鏡體驅動臂（12）可調。?

11.根據權利要求10所述的一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件，其特征在于：所述鏡體驅動臂（12）包括至少兩段雙層結構，所述雙層結構的第一段（26）與第二段（27）包括第一材料層（24）和第二材料層（25），所述第一段（26）的第一材料層（24）設置在第二材料層（25）的上方，所述第二段（27）的第一材料層（24）設置在第二材料層（25）的下方；所述第一段（26）與第二段（27）依次連接設置。?

12.根據權利要求10所述的一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件，其特征在于：所述鏡體驅動臂（12）包括至少兩段多層結構，所述多層結構的第一段（26）與第二段（27）包括第一材料層（24）和第二材料層（25），所述第一段（26）的第一材料層（24）設置在第二材料層（25）的上方，所述第二段（27）?的第一材料層（24）設置在第二材料層（25）的下方；所述第一段（26）與所述第二段（27）還包括除第一材料層（24）與第二材料層（25）之外的一層或多層材料結構，所述第一段（26）與第二段（27）依次連接設置。?

13.根據權利要求10所述的一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件，其特征在于：所述鏡體驅動臂（12）至少包括上層材料層（21）和下層材料層（22），所述上層材料層（21）與下層材料層（22）的材料熱膨脹系數不同。?