[實用新型]晶圓研磨液供應系統的可調式密封取量裝置

有效

• 申請號: 201220527970.3
• 申請日: 2012-10-16
• 公開（公告）號: CN202943538U
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發明（設計）人: 黃怡文;曾義能
• 申請（專利權）人: 宸沅國際股份有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02
• 代理公司: 天津三元專利商標代理有限責任公司 12203
• 代理人: 錢凱

技術領域

本實用新型此種晶圓研磨液供應系統的可調式密封取量裝置，其取料量筒及相關管路及電腦自控配置，使取料量筒能更精準調變注入原料量，且能從取料量筒上端回收溢流過量原料便利的新穎自動化結構技術。

背景技術

研磨晶圓用的晶圓研磨漿液，二氧化硅，業界英文通稱為SLURRY，必須從晶圓研磨原液混入純水(業界英文通稱為DI)調配得宜，才適合晶圓研磨，混入純水太多會變得過稀無研磨效果，或混入純水太少變得過濃產生過量研磨，而攪拌混好的晶圓研磨液又不耐靜置久儲，必須將一批批定量比例混好再由攪拌機拌勻產出的晶圓研磨液送到儲存的晶圓研磨液供應筒暫留，再經過濾器立即送往晶圓研磨機研磨晶圓馬上使用，使整個晶圓研磨液供應系統連貫完成，沒有混合比例一調錯能再補入晶圓研磨原液或水更新混合機會，因此一次準確量出原液與純水比例非常重要。

量出原液的取量裝置設于晶圓研磨液供應系統設置晶圓研磨液混成槽前階段，現有此裝置其取料量筒1結構如圖1所示，筒身側壁一定高度斜伸出一溢排管2，且筒頂壁向內貫穿垂吊一螺桿3引動伸降的排水塊4，該排水塊4周圍壁面未與筒內壁密貼，又于取料量筒1頂壁開設晶圓研磨液原料注入孔1A，且取料量筒1底壁開設晶圓研磨液原料排出孔1B，運作上如圖2所示，欲取定量晶圓研磨液原料5時，封住晶圓研磨液原料排出孔1B將晶圓研磨液原料5由原料筒8A從晶圓研磨液原料注入孔1A注入該筒1，當筒內晶圓研磨液原料5一高過切齊溢排管2，再注入的晶圓研磨液原料5就會經該溢排管2排出，加上經設定排水塊4下沉體積擠出的研磨液原料量，如阿基米得浮力排開液體計量原理一般，就使該筒1內續留的晶圓研磨液原料5保持在預定供應量，再打開晶圓研磨液原料排出孔1B，就使筒內取準量的晶圓研磨液原料5流往晶圓研磨液混成槽7。

如圖3為現有晶圓研磨液供應系統的取量裝置管路線圖，主要于晶圓研磨液原料排出孔1B管接氣動控制閥6A輸出定取量的晶圓研磨液原料5到晶圓研磨液混成槽7，而晶圓研磨液原料注入孔1A管接氣動控制閥6C輸入從原料筒8A經抽送泵9A泵來的晶圓研磨液原料5，又于該筒1頂壁管接氣動控制閥6D連到純水9B，并且該筒1頂壁管接到氮氣9C，另于溢排管2管接氣動控制閥6F到收集槽8B，并再管接氣動控制閥6G連回晶圓研磨液原料排出孔1B，如此構成雖可對該筒1自由調整供應到研磨液混成槽7的晶圓研磨液原料5比例，容量再現良好，但仍產生以下缺失：

1.由于排水塊4周圍壁面未與該筒1內壁密貼，在桶內晶圓研磨液原料5液面貼壁處，容易因液體表面張力的不同而影響些微取量比例。

2.經溢排管2排除的晶圓研磨液原料5部份不回流往晶圓研磨液原料排出孔1B，而直接排到收集槽8B棄用，頗浪費晶圓研磨液原料5藥液。

有鑒于現有晶圓研磨液供應系統的取量裝置有上述種種缺失，因而，本發明人乃積極研究改進之道，經過一番艱辛的苦思及試驗過程，終于有本實用新型產生。

實用新型內容

本實用新型所要解決的主要技術問題在于，克服現有技術存在的上述缺陷，而提供一種晶圓研磨液供應系統的可調式密封取量裝置，達到取料量筒能更精準調變注入原料量，且能從取料量筒上端回收溢流過量晶圓研磨液原料。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種晶圓研磨液供應系統的可調式密封取量裝置，設于晶圓研磨液供應系統設置晶圓研磨液混成槽前階段，由原料筒、取料量筒、抽送泵、數個氣動控制閥，及管控氣壓源氣壓流向氣動控制閥的電腦連接而成，不同于現有取料量筒內部結構及周圍取量裝置管路布設，其特征在于：該取料量筒底開設流通口，且取料量筒頂開設溢流口，又于調取料量筒頂壁向內貫穿垂吊一螺桿引動伸降的活塞，將取料量筒內部空間分隔出計量隔間，此活塞適當位置開設對著溢流口的排出孔，使排出孔透通溢流口管接數個叉路管接數個氣動控制閥選換導入氮氣或選換導回原料筒，而流通口管接一氣動控制閥通往晶圓研磨液混成槽，并叉接數個氣動控制閥選換導入純水或選換經抽送泵泵取原料筒的晶圓研磨液原料，另外，在流通口管接一氣動控制閥排放，且接往氮氣最后只氣動控制閥前，再叉接一氣動控制閥排放而除電腦外所有管路空間都能在密閉下受控相通，由此借由活塞周圍壁貼密筒內壁，得以不受液體表面張力的不同而影響些微取量比例，取晶圓研磨液原料量可以更精準，借由可調活塞高度縮變筒內欲要的晶圓研磨液原料之余，再多注入的晶圓研磨液原料會完全經排出孔管上流到溢流口管流回原料筒回補，收集槽只收清洗后的純水及吹干的氮氣，沒有晶圓研磨液原料棄排到收集槽浪費晶圓研磨液原料的缺失。