[實(shí)用新型]晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的可調(diào)式密封取量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220527970.3
• 申請(qǐng)日: 2012-10-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202943538U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃怡文;曾義能
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 宸沅國(guó)際股份有限公司
• 主分類號(hào): B24B57/02
• 分類號(hào): B24B57/02
• 代理公司: 天津三元專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 12203
• 代理人: 錢凱

1.一種晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的可調(diào)式密封取量裝置，設(shè)于晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)設(shè)置晶圓研磨液混成槽前階段，由原料筒、取料量筒、抽送泵、數(shù)個(gè)氣動(dòng)控制閥，及管控氣壓源氣壓流向氣動(dòng)控制閥的電腦連接而成，不同于現(xiàn)有取料量筒內(nèi)部結(jié)構(gòu)及周圍取量裝置管路布設(shè)，其特征在于：該取料量筒底開(kāi)設(shè)流通口，且取料量筒頂開(kāi)設(shè)溢流口，又于調(diào)取料量筒頂壁向內(nèi)貫穿垂吊一螺桿引動(dòng)伸降的活塞，將取料量筒內(nèi)部空間分隔出計(jì)量隔間，此活塞適當(dāng)位置開(kāi)設(shè)對(duì)著溢流口的排出孔，使排出孔透通溢流口管接數(shù)個(gè)叉路管接數(shù)個(gè)氣動(dòng)控制閥選換導(dǎo)入氮?dú)饣蜻x換導(dǎo)回原料筒，而流通口管接一氣動(dòng)控制閥通往晶圓研磨液混成槽，并叉接數(shù)個(gè)氣動(dòng)控制閥選換導(dǎo)入純水或選換經(jīng)抽送泵泵取原料筒的晶圓研磨液原料，另外，在流通口管接一氣動(dòng)控制閥排放，且接往氮?dú)庾詈笾粴鈩?dòng)控制閥前，再叉接一氣動(dòng)控制閥排放而除電腦外所有管路空間都能在密閉下受控相通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的可調(diào)式密封取量裝置，其特征在于，所述電腦為可程控器型式。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的可調(diào)式密封取量裝置，其特征在于，所述該些氣動(dòng)控制閥除了最臨近管接溢流口的氣動(dòng)控制閥為一進(jìn)二出的閥體外，其余各氣動(dòng)控制閥皆為一進(jìn)一出的閥體，該一進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥的一進(jìn)口管接至溢流口，一出口管接另一氣動(dòng)控制閥到原料筒，另一出口管接另一氣動(dòng)控制閥通氮?dú)狻?/p>