[實用新型]除油裝置以及研磨液攪拌裝置

有效

• 申請號: 201220521264.8
• 申請日: 2012-10-11
• 公開（公告）號: CN202823221U
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 沈葉舟
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: B01F7/16
• 分類號: B01F7/16;B01F15/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種除油裝置，用于去除研磨液攪拌裝置的油漬，所述研磨液攪拌裝置包括：攪拌馬達、攪拌棒以及研磨液缸，所述研磨液缸設有一開口；其特征在于，所述除油裝置包括：第一遮擋盤、第二遮擋盤和油管，所述第一遮擋盤設有一第一開孔，所述第二遮擋盤設有一第二開孔；所述第二遮擋盤的尺寸大于所述第一遮擋盤的尺寸，所述攪拌棒穿過所述第一開孔和第二開孔伸入到所述研磨液缸，所述第一遮擋盤與所述攪拌棒連接并隨所述攪拌棒轉動，所述第二遮擋盤固定于所述研磨液缸的開口上，所述油管與所述第二遮擋盤連通。

2.如權利要求1所述的除油裝置，其特征在于，所述第一遮擋盤包括圓形的底壁以及與所述底壁外邊緣連接的側壁，所述第一開孔設置于所述底壁上。

3.如權利要求2所述的除油裝置，其特征在于，所述第一遮擋盤的側壁高度范圍為1cm~3cm，所述第一遮擋盤的底壁的直徑范圍為8cm~12cm。

4.如權利要求3所述的除油裝置，其特征在于，還包括設置于所述第一開孔內的密封圈，所述第一遮擋盤通過所述密封圈與所述攪拌棒密封連接。

5.如權利要求2所述的除油裝置，其特征在于，所述第二遮擋盤包括圓形的底壁、與所述底壁外邊緣連接的外側壁以及與所述底壁內邊緣連接的內側壁，所述第二開孔設置于所述底壁上。

6.如權利要求5所述的除油裝置，其特征在于，所述第二遮擋盤的底壁的直徑大于所述第一遮擋盤的底壁的直徑。

7.如權利要求6所述的除油裝置，其特征在于，所述第二遮擋盤的外側壁及內側壁的高度范圍均為1cm~3cm，所述第二遮擋盤的底壁的直徑范圍為10cm~14cm。

8.如權利要求5所述的除油裝置，其特征在于，所述第二遮擋盤通過一螺絲與所述研磨液缸的開口固定連接。

9.如權利要求5所述的除油裝置，其特征在于，所述外側壁上設有一排油孔，所述油管通過所述排油孔與所述第二遮擋盤連通。

10.如權利要求5所述的除油裝置，其特征在于，所述底壁上設有一排油孔，所述油管通過所述排油孔與所述第二遮擋盤連通。

11.如權利要求9或10所述的除油裝置，其特征在于，所述油管通過一便捷卡頭固定于所述第二遮擋盤上。

12.一種研磨液攪拌裝置，其特征在于，包括如權利要求1至11中任意一項所述的除油裝置。