[實用新型]化學液存儲裝置

有效

• 申請號: 201220511203.3
• 申請日: 2012-09-29
• 公開（公告）號: CN202860427U
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 王營營
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: B01F5/10
• 分類號: B01F5/10;B01F15/02;B65D90/00
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術領域

本實用新型涉及半導體清洗技術領域，特別涉及一種化學液存儲裝置。

背景技術

在半導體硅片濕法清洗工藝中會用到各種化學液，這些化學液或呈酸性、堿性或者具有強烈的腐蝕性，又或者粘度較高。某些情況下，化學液是可以循環使用的，其工作壽命可以達到每30L化學液連續清洗3天或者可以清洗3000片硅片，因此，化學液需要存儲在化學容器中，如槽或罐里面，非工藝時間可實現化學液在管路與容器間的自循環，而工藝過后可使化學液經管路回到儲存化學液的容器中。

但是，如果沒有特殊的引流裝置，工藝過后回收的舊化學液因粘度較高無法與化學容器中的自循環回的相對新鮮的化學液混合均勻，就會使得下次工藝時所使用的化學液或者大多為自循環回的化學液，也可能大多為回收的舊液，這樣就會影響工藝效果。目前，對于自循環與回收的化學液間的均勻混合，尚沒有成熟的措施，通常是化學液自循環管路與化學液回收管路簡單的、相互獨立的分布在化學容器中，造成容器中化學液混合不均，影響工藝效果。

實用新型內容

（一）要解決的技術問題

本實用新型要解決的技術問題是，針對現有技術的不足，提供一種化學液存儲裝置，通過化學液回收管路的特殊布局最終達到自循環的化學液與回收的化學液的充分混合，實現起來較為簡單。

（二）技術方案

本實用新型提供一種化學液存儲裝置，包括：化學液回收管路，所述回收管路呈螺旋狀并伸入化學液存儲容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵；化學液循環管路，所述循環管路貫穿于呈螺旋狀的所述回收管路中并且伸入化學液存儲容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵。

更好地，所述化學液回收管路和所述化學液循環管路末端用堵塞封堵。

更好地，所述化學液回收管路和所述化學液循環管路末端用焊接封堵。

更好地，所述化學液存儲裝置還包括，位于化學液存儲容器側面用于感測化學液的液位傳感器。

更好地，所述液位傳感器的數量至少為一個。

更好地，所述化學液存儲裝置還包括，分別位于控制新化學液注入管、循環化學液注入管和回收化學液注入管上的三個控制閥門。

更好地，所述化學液存儲裝置還包括，用于將所述化學液存儲容器中的化學液輸送到相應工藝單元的配置泵。

（三）有益效果

本實用新型的化學液存儲裝置，通過化學液回收管路的特殊布局最終達到自循環的化學液與回收的化學液的充分混合，實現起來較為簡單，并且其結構簡單有助于裝置的維修和清洗。

附圖說明

圖1為本實用新型化學液存儲裝置內部結構示意圖；

圖2為圖1的右視圖；

圖3為本實用新型化學液存儲裝置整體結構示意圖；

圖4為本實用新型化學液存儲裝置工作原理圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。

如圖1并參考圖2所示，本實用新型的化學液存儲裝置，包括：化學液回收管路11，所述回收管路呈螺旋狀并伸入化學液存儲容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵；化學液循環管路12，所述循環管路貫穿于呈螺旋狀的所述回收管路中并且伸入化學液存儲容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵。所述化學液回收管路和所述化學液循環管路末端用堵塞封堵或者用焊接封堵。

如圖3所示，所述化學液存儲裝置還包括，位于化學液存儲容器側面用于感測化學液的傳感器9，所述傳感器9的數量至少為一個。

所述化學液存儲裝置還包括，位于控制新化學液注入管上的控制閥門（3，6）、循環化學液注入管上的控制閥門（4，7）和回收化學液注入管上控制閥門（5，8）；用于將所述化學液存儲容器中的化學液輸送到相應工藝單元的配置泵（1，2）。