[實(shí)用新型]化學(xué)液存儲(chǔ)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220511203.3
• 申請日: 2012-09-29
• 公開（公告）號: CN202860427U
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王營營
• 申請（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號: B01F5/10
• 分類號: B01F5/10;B01F15/02;B65D90/00
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

1.一種化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，其特征在于，包括：

化學(xué)液回收管路，所述回收管路呈螺旋狀并伸入化學(xué)液存儲(chǔ)容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵；

化學(xué)液循環(huán)管路，所述循環(huán)管路貫穿于呈螺旋狀的所述回收管路中并且伸入化學(xué)液存儲(chǔ)容器中，其管壁均勻分布小孔并且末端封堵。

2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述化學(xué)液回收管路和所述化學(xué)液循環(huán)管路末端用堵塞封堵。

3.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述化學(xué)液回收管路和所述化學(xué)液循環(huán)管路末端用焊接封堵。

4.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述化學(xué)液存儲(chǔ)裝置還包括，位于化學(xué)液存儲(chǔ)容器側(cè)面用于感測化學(xué)液的液位傳感器。

5.如權(quán)利要求4所述的化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述液位傳感器的數(shù)量至少為一個(gè)。

6.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述化學(xué)液存儲(chǔ)裝置還包括，分別位于控制新化學(xué)液注入管、循環(huán)化學(xué)液注入管和回收化學(xué)液注入管上的三個(gè)控制閥門。

7.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)液存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述化學(xué)液存儲(chǔ)裝置還包括，用于將所述化學(xué)液存儲(chǔ)容器中的化學(xué)液輸送到相應(yīng)工藝單元的配置泵。