[實用新型]柔性基材表面處理裝置有效

申請號：	201220510688.4	申請日：	2012-09-29
公開（公告）號：	CN202965200U	公開（公告）日：	2013-06-05
發明（設計）人：	李章國;夏國濤;柳錫運;鐘欣;江成軍;余俊佼;胡健;杜圣峰	申請（專利權）人：	深圳南玻顯示器件科技有限公司
主分類號：	B29C59/12	分類號：	B29C59/12
代理公司：	廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224	代理人：	鄧云鵬
地址：	518000 廣東省***	國省代碼：	廣東;44
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	柔性基材表面處理裝置
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【權利要求書】：

1.一種柔性基材表面處理裝置，其特征在于，包括控制系統、電源、真空腔體、在所述真空腔體內相對設置的陰極板和陽極板以及傳輸裝置，所述控制系統控制所述電源的輸出電壓和輸出電流，所述傳輸裝置可攜帶所述柔性基材從所述陰極板及所述陽極板中間穿過；所述陰極板及所述陽極板上分別設有冷卻水管，所述陰極板上設有與所述真空腔體連通的工藝氣體管。?

2.根據權利要求1所述的柔性基材表面處理裝置，其特征在于，所述電源的輸出電壓恒定，電壓范圍為600V～3000V。?

3.根據權利要求1所述的柔性基材表面處理裝置，其特征在于，所述電源的輸出功率恒定，為0.2～1.5kW。?

4.根據權利要求1所述的柔性基材表面處理裝置，其特征在于，所述真空腔體的工作環境的真空度為2～8E^-2Torr。?

5.根據權利要求1所述的柔性基材表面處理裝置，其特征在于，所述工藝氣體管有兩個，分別設在所述陰極板與所述陽極板相對的一側的兩端。?

6.根據權利要求1所述的柔性基材表面處理裝置，其特征在于，所述工藝氣體管中通入的工藝氣體為氬氣，向所述真空腔體中通入的所述氬氣的流量為100～700sccm。?

下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。

免登錄下載普通用戶下載升級VIP會員，免費下載

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于深圳南玻顯示器件科技有限公司，未經深圳南玻顯示器件科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】

本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201220510688.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。