[實用新型]柔性基材表面處理裝置

有效

• 申請號: 201220510688.4
• 申請日: 2012-09-29
• 公開（公告）號: CN202965200U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 李章國;夏國濤;柳錫運;鐘欣;江成軍;余俊佼;胡健;杜圣峰
• 申請（專利權）人: 深圳南玻顯示器件科技有限公司
• 主分類號: B29C59/12
• 分類號: B29C59/12
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

技術領域

本實用新型涉及柔性基材加工領域，特別是涉及一種柔性基材表面處理裝置。?

背景技術

觸摸屏產品的觸摸屏用復合薄膜的制備，一般是以PET（Polyethylene?terephthalate，聚對苯二甲酸乙二醇酯）基材等柔性基材為基礎，對柔性基材的表面進行處理后再進行后續的生產工藝。目前常用的柔性基材的結構為HC（hard?coating，硬涂層）/PET，此柔性基材在進行后期的生產工藝前，要先進行脫氣處理。?

傳統柔性基材脫氣處理的方法是在基材表面沒有經過處理的情況下，把柔性基材置于真空腔室內，采用紅外線加熱管升溫，通過輻射傳遞熱量來達到脫氣的目的，脫氣效果由加熱器輻射能量來保證。由于真空腔室內能量轉換方式為熱輻射，能量轉換效率低，脫氣時間長，因此，處理效率低下。?

實用新型內容

基于此，有必要提供一種柔性基材脫氣處理效率較高的處理裝置。?

一種柔性基材表面處理裝置，包括控制系統、電源、真空腔體、在所述真空腔體內相對設置的陰極板和陽極板以及傳輸裝置，所述控制系統控制所述電源的輸出電壓和輸出電流，所述傳輸裝置可攜帶所述柔性基材從所述陰極板及所述陽極板中間穿過；所述陰極板及所述陽極板上分別設有冷卻水管，所述陰極板上設有與所述真空腔體連通的工藝氣體管。?

在其中一個實施例中，所述電源的輸出電壓恒定，電壓范圍為600V～3000V。?

在其中一個實施例中，所述電源的輸出功率恒定，為0.2～1.5kW。?

在其中一個實施例中，所述真空腔體的工作環境的真空度為2～8E^-2Torr。?

在其中一個實施例中，所述工藝氣體管有兩個，分別設在所述陰極板與所?述陽極板相對的一側的兩端。?

在其中一個實施例中，所述工藝氣體管中通入的工藝氣體為氬氣，向所述真空腔體中通入的所述氬氣的流量為100～700sccm。?

上述柔性基材表面處理裝置利用高壓在陽極板與陰極板之間形成高能粒子，利用此高能粒子轟擊柔性基材，一方面可以在柔性基材表面為后期生產工藝提供懸鍵；另一方面高能粒子轟擊在柔性基材表面，利用高能粒子發光時產生的熱量對柔性基材進行烘烤，加快柔性基材表面吸附水的脫離，增加了原膜的脫氣效果，較之傳統的熱輻射脫氣處理，能力轉換效率高，可以顯著加快柔性基材的表面處理時間，提高生產效率。?

附圖說明

圖1為一實施方式的柔性基材表面處理裝置的結構示意圖；?

圖2為一實施方式的柔性基材表面處理方法的流程圖。?

具體實施方式

下面結合附圖對柔性基材表面處理裝置和處理方法進行進一步詳細的說明。?

如圖1所示，一實施方式的柔性基材表面處理裝置100包括控制系統（圖未示）、電源（圖未示）、傳輸裝置110，真空腔體120、陰極板130及陽極板140。陰極板130與陽極板140相對設置。此外，在本實施方式中，陰極板130及陽極板140上分別設有冷卻水管150和冷卻水管160。陰極板130上設有與真空腔體120連通的工藝氣體管170。?

該柔性基材表面處理裝置100主要用于對柔性基材，如PET基材進行表面處理。以下以PET基材200為例進行說明。?

本實施方式的控制系統主要用于控制電源的輸出電壓和輸出功率。控制系統中設有兩種工作模式，電壓模式和功率模式。其中電壓模式保證在PET基材表面處理過程中陰極板130及陽極板140之間的輸出電壓穩定，而可以控制輸出電流的變化，如輸出電壓為600V～3000V不等，輸出電流可以為1A。處于電?壓模式下，可以使得后續對PET基材處理時，轟擊到PET層表面的高能粒子的能量比較穩定，從而有利于維持整個PET基材的溫度穩定，便于其表面處理時間的控制。功率模式及電源的輸出功率恒定，如可以0.2～1.5kW不等，可以保證作用在基材表面的高能粒子的濃度比較平均，有利于整個PET基材均勻脫去水汽。?

傳輸裝置110可攜帶PET基材200從陰極板130及陽極板140中間穿過。用于本處理裝置表面處理的PET基材200包括層疊設置的硬涂層和PET層。傳輸裝置110攜帶PET基材200并使其PET與陰極板130相對，硬涂層與陽極板140相對。可以理解，在其他實施方式中，可以沒有傳輸裝置110，如可以手工防止PET基材200等。?