[實(shí)用新型]一種提供浸沒(méi)式光刻機(jī)掃描路徑的工作結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220510663.4
• 申請(qǐng)日: 2012-10-08
• 公開（公告）號(hào): CN202975590U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡恩靜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 竺路玲

1.一種提供浸沒(méi)式光刻機(jī)掃描路徑的工作結(jié)構(gòu)，包括：硅片，所述硅片置于浸沒(méi)式光刻機(jī)的曝光鏡頭下方，其特征在于，所述硅片包括多個(gè)晶圓，所述多個(gè)晶圓還包括底部抗反射層和光刻膠；所述多個(gè)晶圓包括中心掃描路徑區(qū)域的晶圓和外圍掃描路徑區(qū)域的晶圓，所述中心掃描路徑區(qū)域和所述外圍掃描路徑區(qū)域均為螺旋掃描路徑結(jié)構(gòu)。?

2.如權(quán)利要求1所述的提供浸沒(méi)式光刻機(jī)掃描路徑的工作結(jié)構(gòu)，其特征在于，在所述硅片和所述曝光鏡頭之間充滿了液體。?

3.如權(quán)利要求2所述的提供浸沒(méi)式光刻機(jī)掃描路徑的工作結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述液體為純水。?

4.如權(quán)利要求1所述的提供浸沒(méi)式光刻機(jī)掃描路徑的工作結(jié)構(gòu)，其特征在于，在所述光刻膠的表面還包括頂部涂層。?

5.如權(quán)利要求1所述的提供浸沒(méi)式光刻機(jī)掃描路徑的工作結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述中心掃描路徑區(qū)域?yàn)槟鏁r(shí)針螺旋掃描路徑結(jié)構(gòu)，所述外圍掃描路徑區(qū)域?yàn)轫槙r(shí)針螺旋掃描路徑結(jié)構(gòu)。?