[實用新型]靶材背板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220506040.X
• 申請日: 2012-09-28
• 公開（公告）號: CN202830156U
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發(fā)明（設計）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;李曉瑜
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種靶材背板，其特征在于，所述靶材背板上設有呈燕尾狀的密封槽，所述密封槽的開口設置在所述靶材背板的表面上，所述密封槽的開口將所述靶材背板的表面分隔為外側表面及內側表面，所述外側表面高于所述內側表面，所述密封槽具有底壁及呈相對設置的第一側壁、第二側壁，其中，所述第一側壁的一端與所述外側表面連接，另一端與所述底壁連接，所述第二側壁的一端與所述內側表面連接，另一端與所述底壁連接，所述外側表面與所述第一側壁之間的夾角大于70度，且所述外側表面與所述第一側壁的連接處設有第一圓角，所述第一圓角的半徑為0.45mm±0.13mm，所述內側表面與所述第二側壁之間的夾角等于70度，且所述內側表面與所述第二側壁的連接處設有第二圓角，所述第二圓角的半徑為0.25mm±0.13mm，所述密封槽的槽深為2.54mm±0.05mm，所述密封槽的槽寬為3.38mm±0.08mm。

2.根據權利要求1所述的靶材背板，其特征在于，所述外側表面與所述第一側壁之間的夾角等于71.23度。

3.根據權利要求1或2所述的靶材背板，其特征在于，所述外側表面比所述內側表面高0.25mm±0.13mm。

4.根據權利要求1或2所述的靶材背板，其特征在于，所述底壁與所述第一側壁的連接處以及所述底壁與所述第二側壁的連接處設有圓角，所述圓角的半徑為0.79mm。

5.一種靶材背板，其特征在于，所述靶材背板上設有呈燕尾狀的密封槽，所述密封槽的開口設置在所述靶材背板的表面上，所述密封槽的開口將所述靶材背板的表面分隔為外側表面及內側表面，所述外側表面高于所述內側表面，所述密封槽具有底壁及呈相對設置的第一側壁、第二側壁，其中，所述第一側壁的一端與所述外側表面連接，另一端與所述底壁連接，所述第二側壁的一端與所述內側表面連接，另一端與所述底壁連接，所述外側表面與所述第一側壁之間的夾角等于70度，且所述外側表面與所述第一側壁的連接處設有第一圓角，所述第一圓角的半徑為0.25mm±0.13mm，所述內側表面與所述第二側壁之間的夾角大于70度，且所述內側表面與所述第二側壁的連接處設有第二圓角，所述第二圓角的半徑為0.20mm±0.13mm，所述密封槽的槽深為2.54mm±0.05mm，所述密封槽的槽寬為3.38mm±0.08mm，所述外側表面比所述內側表面高0.30mm±0.08mm。

6.根據權利要求5所述的靶材背板，其特征在于，所述內側表面與所述第二側壁之間的夾角等于71.23度。

7.根據權利要求5或6所述的靶材背板，其特征在于，所述底壁與所述第一側壁的連接處以及所述底壁與所述第二側壁的連接處設有圓角，所述圓角的半徑為0.79mm。

8.一種靶材背板，其特征在于，所述靶材背板上設有呈燕尾狀的密封槽，所述密封槽的開口設置在所述靶材背板的表面上，所述密封槽的開口將所述靶材背板的表面分隔為外側表面及內側表面，所述外側表面高于所述內側表面，所述密封槽具有底壁及呈相對設置的第一側壁、第二側壁，其中，所述第一側壁的一端與所述外側表面連接，另一端與所述底壁連接，所述第二側壁的一端與所述內側表面連接，另一端與所述底壁連接，所述外側表面與所述第一側壁之間的夾角大于70度，且所述外側表面與所述第一側壁的連接處設有第一圓角，所述第一圓角的半徑為0.45mm±0.13mm，所述內側表面與所述第二側壁之間的夾角大于70度，且所述內側表面與所述第二側壁的連接處設有第二圓角，所述第二圓角的半徑為0.20mm±0.13mm，所述密封槽的槽深為2.54mm±0.05mm，所述密封槽的槽寬為3.38mm±0.08mm，所述外側表面比所述內側表面高0.30mm±0.08mm。

9.根據權利要求8所述的靶材背板，其特征在于，所述外側表面與所述第一側壁之間的夾角等于71.23度，所述內側表面與所述第二側壁之間的夾角等于71.23度。

10.根據權利要求8或9所述的靶材背板，其特征在于，所述底壁與所述第一側壁的連接處以及所述底壁與所述第二側壁的連接處設有圓角，所述圓角的半徑為0.79mm。