[實用新型]金屬有機物化學氣相沉積設備石墨盤轉移裝置

有效

• 申請號: 201220484724.4
• 申請日: 2012-09-19
• 公開（公告）號: CN202898531U
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發明（設計）人: 甘志銀;王明星;胡少林;潘建秋;蔣小敏;植成楊;劉玉貴
• 申請（專利權）人: 甘志銀
• 主分類號: C23C16/00
• 分類號: C23C16/00
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210
• 代理人: 李平

1.一種金屬有機物化學氣相沉積設備石墨盤轉移裝置,包括:機械臂、手套箱（1）、噴淋盤（2）、噴淋盤導柱（3）、整流罩（7）、升降板導柱（8）、波紋管（9）、升降板（10）、連接套（11）、底座基體（13）、旋轉座（14）、石磨盤支撐（15）、石墨盤（16）、石墨盤中轉裝置（17），機械臂由機械臂夾取爪（4）、機械臂旋轉軸（5）、機械臂懸臂桿（18）和機械臂滑動導軌（6）組成，噴淋盤（2）經噴淋盤導柱（3）設置在手套箱（1）內，其特征在于所述手套箱（1）底板上設有一孔，底座基體（13）固定在手套箱（1）的底板開孔位置的箱體里面，整流罩（7）固定在底座基體（13）上，波紋管（9）的頂端和手套箱（1）的底板開孔位置的箱體密封連接，其底端與升降板（10）密封連接，升降板（10）上表面依次與連接套（11）、旋轉座（14）、石墨盤支撐（15）和石墨盤（16）連接，升降板（10）由外部動力驅動沿升降板導柱（8）上下移動，旋轉座（14）、石墨盤支撐（15）和石墨盤（16）都設置在手套箱（1）內，手套箱（1）的底板上設有一機械臂滑動導軌（6）與石墨盤中轉裝置（17），機械臂旋轉軸（5）安裝在機械臂滑動導軌（6）上，機械臂旋轉軸（5）的頂端裝有機械臂懸臂桿（18），機械臂夾取爪（4）安裝在機械臂懸臂桿（18）的前端，機械臂由外部驅動源驅動。

2.根據權利要求1所述的金屬有機物化學氣相沉積設備石墨盤轉移裝置，其特征在于機械臂由機械臂夾取爪（4）、機械臂旋轉軸（5）、機械臂懸臂桿（18）和機械臂滑動導軌（6）組成，機械臂懸臂桿（18）通過機械臂旋轉軸（5）可以沿機械臂導軌（6）前后移動以及旋轉角度。

3.根據權利要求1所述的金屬有機物化學氣相沉積設備石墨盤轉移裝置，其特征在于所述石墨盤（16）放置在石磨盤支撐（15）上，由機械臂夾取爪（4）夾取或放置。

4.根據權利要求1所述的金屬有機物化學氣相沉積設備石墨盤轉移裝置，其特征在于所述石墨盤中轉裝置（17）是支撐由機械臂轉移的石墨盤（16）暫時存放的中轉臺。

5.根據權利要求1所述的金屬有機物化學氣相沉積設備石墨盤轉移裝置，其特征在于升降板10可以上升或下降，并連接有波紋管（12）。