[實用新型]一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置

有效

• 申請號: 201220482427.6
• 申請日: 2012-09-21
• 公開（公告）號: CN202825013U
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 魏志凌;寧軍;高永強
• 申請（專利權）人: 昆山思拓機器有限公司
• 主分類號: B23K26/40
• 分類號: B23K26/40
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及激光加工領域，特別涉及一種紫外激光刻蝕雙面ITO玻璃激光刻蝕加工裝置。

背景技術

是銦錫氧化物的英文縮寫，它是一種透明的導電體，通常厚度只有幾千埃，在所有在透明導電體中，其具有優良的物理性能：高的可見光透過率，高的紅外反射率，良好的機械強度和化學穩定性，用酸溶液等濕法刻蝕工藝能很容易形成一定的電極圖形，制備相對比較容易等，這使它廣泛應用于各種電子及光電子器件，如手機和電腦等平板顯示領域。傳統的雙面ITO玻璃采用濕刻方式制作電極圖形，工序繁多，刻蝕后產生的廢水需要進一步處理，同時也容易形成煙霧廢氣等環境污染物，進一步處理工藝也會繁雜。而采用紫外激光刻蝕雙面ITO玻璃，靈活性高，工序簡單，且無任何后續廢水廢氣產生。本專利用于說明采用紫外激光刻蝕雙面ITO玻璃的一種設備.

本專利提出一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，可以很好的解決以上傳統工藝帶來的問題。

實用新型內容

有鑒于此，需要克服現有技術中的上述缺陷中的至少一個。本實用新型提供了一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，所述加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置包括紫外激光光路加工機構，所述紫外激光光路加工機構包括能量衰減部件、掃描部件，所述能量衰減部件用于激光束能量調節，所述掃描部件用于對雙面ITO玻璃進行掃描；和支撐機構，所述支撐機構包括上支撐機構和下支撐機構，所述上下支撐機構各包含有所述紫外激光光路加工機構；和激光器。本實用新型提出的一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置較好的解決了目前傳統工藝加工雙面ITO玻璃的常見問題。

加工雙面ITO玻璃原理描述如下，如圖1所示，激光刻蝕單面ITO膜玻璃時，當紫外激光的功率Pd大于ITO膜的刻蝕功率閾值Pdmin時，可以將玻璃表面的ITO膜除掉；而刻蝕雙面鍍有ITO膜的玻璃時，激光束的功率密度則需要大于最小功率閾值Pdmin，且小于最大功率閾值Pdmax時，由于紫外激光具有能量集中，影響區小的特點，可以減少廢水廢氣的產生，同時具有操作過程簡便，更宜于控制等優點。

同時，構成所述紫外激光刻蝕裝置的所述紫外激光光路加工機構還可以包括安全部件，所述安全部件起到一定的安全防護作用。所述下支撐機構還包括工作臺和基座，所述工作臺可以在X、Y向運動，便于對加工部件，如ITO玻璃，進行加工。

根據本實用新型提供的一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，所述加紫外激光刻蝕裝置包括紫外激光光路加工機構，所述紫外激光光路加工機構包括能量衰減部件、掃描部件，所述能量衰減部件用于激光束能量調節，所述掃描部件用于對雙面ITO玻璃進行掃描；和支撐機構，所述支撐機構包括上支撐機構和下支撐機構，所述上下支撐機構各包含有所述紫外激光光路加工機構；和激光器。

進一步地，所述能量調節部件為能量衰減器或者布儒斯特鏡。

可選地，所述掃描部件包括動態聚焦鏡或振鏡。

優選地，所述掃描部件包括動態聚焦鏡和振鏡。

優選地，所述紫外激光光路加工機構還包括安全部件。

進一步地，所述安全部件為光閘。

優選地，所述紫外激光光路加工機構可以包括分光部件、反射部件，形成共用一臺激光器的兩套光路，形成的兩套光路機構可以大大提升加工效率和速度，具有更加高效的特點。

可選地，所述上支撐機構為龍門結構。

進一步地，所述下支撐機構包括基座和工作臺。

更進一步地，所述工作臺包括X、Y向運動部件，所述X、Y向運動部件可載所述工作臺作處于工作臺平面上的運動。

進一步優選地，所述工作臺還含吸附孔，所述吸附孔提供將雙面ITO玻璃固定的吸力。

進一步地，所述激光器為紫外激光器，所述激光器頻率為10~300KHz，功率為0.2~25W。

更進一步地，所述激光器為100KHz，功率：0.5W的紫外激光器。

本實用新型附加的方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

附圖說明

本實用新型的上述和/或附加的方面和優點從下面結合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1顯示了單面ITO玻璃刻蝕原理示意圖；

圖2顯示了雙面ITO玻璃刻蝕原理示意圖；

圖3顯示了本實用新型一個實施例的正視示意圖；

圖4顯示了本實用新型一個實施例的側視示意圖；