[實用新型]一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置有效
| 申請號： | 201220482427.6 | 申請日： | 2012-09-21 |
| 公開（公告）號： | CN202825013U | 公開（公告）日： | 2013-03-27 |
| 發明（設計）人： | 魏志凌;寧軍;高永強 | 申請（專利權）人： | 昆山思拓機器有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/40 | 分類號： | B23K26/40 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215347 江蘇省蘇州市昆山*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 加工 雙面 ito 玻璃 紫外 激光 刻蝕 裝置 | ||
1.一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，包括：
紫外激光光路加工機構，所述紫外激光光路加工機構包括能量衰減部件、掃描部件，所述能量衰減部件用于激光束能量調節，所述掃描部件用于對雙面ITO玻璃進行掃描；
和支撐機構，所述支撐機構包括上支撐機構和下支撐機構，所述上下支撐機構各包含有所述紫外激光光路加工機構；
和激光器。
2.根據權利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述能量調節部件包括能量衰減器或者布儒斯特鏡。
3.根據權利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述掃描部件包括動態聚焦鏡或振鏡。
4.根據權利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述掃描部件包括動態聚焦鏡和振鏡。
5.根據權利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述紫外激光光路加工機構還包括安全部件。
6.根據權利要求5所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述安全部件為光閘。
7.根據權利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述紫外激光光路加工機構可以包括分光部件、反射部件，形成共用一臺激光器的兩套光路。
8.根據權利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述上支撐機構為龍門結構。
9.根據權利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述下支撐機構包括基座和工作臺。
10.根據權利要求9所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述工作臺包括X、Y向運動部件，所述X、Y向運動部件可載所述工作臺作處于工作臺平面上的運動。
11.根據權利要求9所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述工作臺還含吸附孔，所述吸附孔提供將雙面ITO玻璃固定的吸力。
12.根據權利要求1所述的刻蝕裝置，其特征在于，所述激光器為紫外激光器，所述激光器頻率為10~300KHz，功率為0.2~25W。
13.根據權利要求12所述的刻蝕裝置，其特征在于，所述激光器為100KHz，功率：0.5W的紫外激光器。
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