[實用新型]防斷電保護的硅片清洗機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220478275.2 | 申請日： | 2012-09-18 |
| 公開（公告）號： | CN202824050U | 公開（公告）日： | 2013-03-27 |
| 發(fā)明（設計）人： | 張紹國;何金群;裴立坤;吳儀;王好肖 | 申請（專利權）人： | 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司 |
| 主分類號： | B08B13/00 | 分類號： | B08B13/00;B08B3/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 王瑩 |
| 地址： | 100015 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 斷電 保護 硅片 清洗 | ||
【權利要求書】：
1.一種防斷電保護的硅片清洗機，其特征在于，包括：工藝腔室和位于工藝腔室底部的N2管路，所述N2管路包括：常開N2管路和常閉N2管路，所述常開N2管路與常閉N2管路并聯設置，所述常開N2管路上設有常開波紋密封閥，所述常閉N2管路上設有常閉波紋密封閥。
2.如權利要求1所述的硅片清洗機，其特征在于，當所述常開波紋密封閥打開時，所述常閉波紋密封閥關閉；當所述常開波紋密封閥關閉時，所述常閉波紋密封閥打開。
3.如權利要求1或2所述的硅片清洗機，其特征在于，所述常開波紋密封閥和常閉波紋密封閥通過電磁閥島氣動控制。
4.如權利要求1所述的硅片清洗機，其特征在于，防斷電保護的硅片清洗機還包括：位于常閉波紋密封閥前端管路上的壓力針閥。
5.如權利要求1所述的硅片清洗機，其特征在于，防斷電保護的硅片清洗機還包括：位于常閉波紋密封閥后端管路上的單向閥。
6.如權利要求1所述的硅片清洗機，其特征在于，防斷電保護的硅片清洗機還包括：位于常開波紋密封閥后端管路上的超聲波流量計和過濾器，所述超聲波流量計位于所述過濾器的前端管路上。?
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司，未經北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201220478275.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
