[實用新型]一種基于藍寶石基板的半導體設備有效

申請號：	201220475622.6	申請日：	2012-09-18
公開（公告）號：	CN202772112U	公開（公告）日：	2013-03-06
發明（設計）人：	徐廣忠	申請（專利權）人：	泰州普吉光電股份有限公司
主分類號：	H01L21/02	分類號：	H01L21/02;C30B25/18
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	225300 江蘇省泰州市海***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種基于藍寶石半導體設備
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【權利要求書】：

1.一種基于藍寶石基板的半導體設備，其特征在于，所述基于藍寶石基板的半導體設備設有一藍寶石基板，所述藍寶石基板的下表面通過電鍍的方法形成一金屬層，所述金屬層對所述藍寶石基板進行平面固定，所述藍寶石基板的上表面通過外延生長的方法形成一外延層，所述外延層和金屬層的厚度相適應，所述金屬層的長度長于所述藍寶石基板的長度。

2.根據權利要求1所述的基于藍寶石基板的半導體設備，其特征在于，所述金屬層為AL元素構成。

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