[實用新型]一種晶圓切割機去離子水流量報警裝置

有效

• 申請號: 201220474915.2
• 申請日: 2012-09-17
• 公開（公告）號: CN202764041U
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 董安意;曹石彬
• 申請（專利權）人: 佛山市藍箭電子股份有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;G01F1/52
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 艾持平

技術領域

本實用新型涉及設備安全運行的報警裝置的技術領域，特別是用于半導體行業晶圓切割機的水流量異常報警裝置。

背景技術

晶圓切割機是一種利用金剛石刀片將整張圓片切割成單粒芯片的高精度設備。在晶圓的切割過程中，需要使用到大量的去離子水。去離子水的作用主要有如下兩點：一、去離子水可以將切割圓片時產生的細微硅粉帶走，防止硅粉累積在芯片表面和刀片上從而造成芯片擦花和沾污；二、去離子水可以冷卻刀片。切割機的刀片是一直高速旋轉，而且硅片的硬度很大，切割過程中會產生極高的熱量，對設備、刀片和產品質量均有影響。去離子水則保持恒溫，可以起到極大的降溫作用。去離子水在晶圓切割過程中起著非常重要的作用。但在實際生產過程中會出現水流量異常甚至停水的現象，若設備沒有任何報警和保護措施，輕則正在生產的晶片產品報廢，重則刀片崩損，設備毀壞。目前，使用的日本DISCO公司的型號為DAD321的晶圓切割機就沒有去離子水流量報警裝置，當去離子水流量異常時設備不會報警。

實用新型內容

鑒于上述現有技術存在的問題，本實用新型旨在提出一種晶圓切割機去離子水流量報警裝置，在去離子水流量異常時能自動發出報警，保證晶圓切割機的安全工作運轉。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用了下述技術方案：

一種晶圓切割機去離子水流量報警裝置，包括有塑料殼體，殼體內有一上下貫通的腔道、腔道兩端設有管接頭，管接頭分別與去離子水的管路連通，其特征在于：所述的腔道內放置有受水沖擊可上移的磁鋼塊，而殼體內、腔道旁側形成有一獨立的安裝槽，安裝槽內放置有磁控感應開關，磁控感應開關的信號線與晶圓切割機控制系統連接。進一步地，所述的磁控感應開關為干簧管，磁鋼塊受水流帶動上移至腔道上部時，可觸發干簧管。磁鋼塊的重量需與去離子水水流的沖力相適應，正常水流下，磁鋼塊可被帶動至腔道頂部。磁控感應開關在安裝槽內位置必須與腔道內的磁鋼塊相匹配,磁控感應開關的感應位置要高于磁鋼塊在腔道內的最低點。

本實用新型具有以下有益效果：

1、利用水流作為感應產生信號，簡單而又直接地完成對設備的監控，無需復雜、昂貴的裝置，成本低；

2、通過磁控感應開關感應控制，可靠性高；

3、結構精巧簡單，易于維護，便于推廣應用。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2是殼體的剖面示意圖。

標號說明：1．殼體2.管接頭3.磁鋼塊4.干簧管5.信號線

11.腔道12.安裝槽

具體實施方式

參見圖1-圖2，本實用新型的晶圓切割機去離子水流量報警裝置包括：塑料殼體1，一對管接頭2，磁鋼塊3，干簧管4，信號線5。其中，殼體1內有一上下貫通的腔道11、腔道11兩端設有銅管接頭2，管接頭2分別與去離子水的管路連通，腔道11內放置有受水沖擊可上移的磁鋼塊3，而殼體1內、腔道11旁側形成有一獨立的安裝槽12，安裝槽12內放置有干簧管4，干簧管4的信號線5與晶圓切割機控制系統連接，以便將離子水的流量情況傳遞給設備控制系統。

工作原理：本報警裝置連接在晶圓切割機的去離子水引入管路上，當管路中有水流通過時，殼體1內上下貫通的腔道11有正常水壓，磁鋼塊3會在水流的作用下上升，當上升到達一定的位置后保持平衡，磁鋼塊3與旁側安裝槽12內的干簧管4之間的距離接近，磁鋼塊3的磁力會作用于干簧管4，使干簧管4感應觸發而導通，通過信號線5給設備控制系統一個信號，確認情況正常，晶圓切割機運轉工作；當管路中的水流量降低到一定程度或停水時，腔道11內水壓減少或為零，磁鋼塊3因沒有足夠水流承托而會掉落下來，作用到干簧管4上的磁力會降低，直至干簧管4的觸點斷開，信號線5會傳給設備控制系統另一個信號，確認出現不正常情況，設備會停止工作并發出警告聲，從而確保晶圓切割機的安全。

上述實施例只是本實用新型的優選實施方式，本領域技術人員根據本實用新型說明書公開的內容能夠認識到本實用新型在實施的過程中有多種變型。總之，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均包含在本實用新型的保護范圍之內。