[實(shí)用新型]一種晶圓切割機(jī)去離子水流量報警裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220474915.2 | 申請日： | 2012-09-17 |
| 公開（公告）號： | CN202764041U | 公開（公告）日： | 2013-03-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 董安意;曹石彬 | 申請（專利權(quán)）人： | 佛山市藍(lán)箭電子股份有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/00 | 分類號： | B28D5/00;G01F1/52 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11290 | 代理人： | 艾持平 |
| 地址： | 528051 廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 切割機(jī) 離子水 流量 報警裝置 | ||
1.一種晶圓切割機(jī)去離子水流量報警裝置，包括有塑料殼體，殼體內(nèi)有一上下貫通的腔道、腔道兩端設(shè)有管接頭，管接頭分別與去離子水的管路連通，其特征在于：所述的腔道內(nèi)放置有受水沖擊可上移的磁鋼塊，而殼體內(nèi)、腔道旁側(cè)形成有一獨(dú)立的安裝槽，安裝槽內(nèi)放置有磁控感應(yīng)開關(guān)，磁控感應(yīng)開關(guān)的信號線與晶圓切割機(jī)控制系統(tǒng)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的報警裝置，其特征在于：所述的磁控感應(yīng)開關(guān)為干簧管，磁鋼塊受水流帶動上移至腔道上部時，可觸發(fā)干簧管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的報警裝置，其特征在于：磁鋼塊的重量需與去離子水水流的沖力相適應(yīng)，正常水流下，磁鋼塊可被帶動至腔道頂部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的報警裝置，其特征在于：磁控感應(yīng)開關(guān)在安裝槽內(nèi)位置必須與腔道內(nèi)的磁鋼塊相匹配,磁控感應(yīng)開關(guān)的感應(yīng)位置要高于磁鋼塊在腔道內(nèi)的最低點(diǎn)。
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