[實用新型]一種曝光機對位系統XYY機構

有效

• 申請號: 201220465798.3
• 申請日: 2012-09-13
• 公開（公告）號: CN202886839U
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 袁強;劉長征
• 申請（專利權）人: 東莞市海圣光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 東莞市中正知識產權事務所 44231
• 代理人: 劉林

技術領域

本實用新型涉及曝光機技術領域，具體涉及一種曝光機對位系統XYY機構。

背景技術

曝光機系提供印刷電路板，進行線路圖形布置，曝光機通常系在基座中形成一曝光區域，該曝光區系透過一可升降平臺，將待曝光之電路板放至合適曝光區中，并藉以進行電路板之曝光作業。現有技術的對位系統各軸各自獨立，穩定性不夠，久之會有運動不暢現象，有不良產品出現，因此現有技術曝光機對位系統結構亟待改良。

實用新型內容

本實用新型的特征和優點在下文的描述中部分地陳述，或者可從該描述顯而易見，或者可通過實踐本實用新型而學習。

針對現有技術的問題，本實用新型提供一種曝光機對位系統XYY機構，該XYY機構由一個X方向的軸向運動裝置，搭配兩個Y方向軸向運動裝置，使對位系統的運動更為流暢，機構更為穩定。

本實用新型為解決上述技術問題所采用的技術方案為：

本實用新型提供一種曝光機對位系統XYY機構，包括對位模組固定板、運動板、X方向移動裝置、第一Y方向移動裝置和第二Y方向移動裝置，X方向移動裝置、第一Y方向移動裝置和第二Y方向移動裝置分別與該對位模組固定板、該運動板活動連接，還包括設置在該對位模組固定板上的X方向動力裝置、第一Y方向動力裝置和第二Y方向動力裝置，X方向動力裝置帶動X方向移動裝置沿X方向往復運動，X方向移動裝置帶動該運動板沿X方向往復移位，第一Y方向動力裝置帶動第一Y方向移動裝置沿Y方向往復運動，第一Y方向移動裝置帶動該運動板沿Y方向往復移位，第二Y方向動力裝置帶動第二Y方向移動裝置沿Y方向往復運動，第二Y方向移動裝置帶動該運動板沿Y方向往復移位。

根據本實用新型的實施例，?X方向移動裝置包括X方向移動板，X方向移動板與該運動板通過軸承活動連接，X方向移動板的下端面上設置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該對位模組固定板上的第一固定板滑槽往復移動，該軸承的上方設置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復移動。

根據本實用新型的實施例，第一Y方向移動裝置包括第一Y方向移動板，第一Y方向移動板與該運動板通過軸承活動連接，第一Y方向移動板的下端面上設置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該對位模組固定板上的第二固定板滑槽往復移動，該軸承的上方設置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復移動。

根據本實用新型的實施例，第二Y方向移動裝置包括第二Y方向移動板，?第二Y方向移動板與該運動板通過軸承活動連接，第二Y方向移動板的下端面上設置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該對位模組固定板上的第三固定板滑槽往復移動，該軸承的上方設置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復移動。

根據本實用新型的實施例，?X方向動力裝置包括電機和與該電機固定連接的偏心輪，該偏心輪與X方向移動板之間通過彈簧連接，該彈簧消除該偏心輪與X方向移動板之間的間隙。

根據本實用新型的實施例，第一Y方向動力裝置包括電機和與該電機固定連接的偏心輪，該偏心輪與第一Y方向移動板之間通過彈簧連接，該彈簧消除該偏心輪與第一Y方向移動板之間的間隙。

根據本實用新型的實施例，第二Y方向動力裝置包括電機和與該電機固定連接的偏心輪，該偏心輪與第二Y方向移動板之間通過彈簧連接，該彈簧消除該偏心輪與第二Y方向移動板之間的間隙。

本實用新型的有益效果：本實用新型曝光機對位系統XYY機構由一個X方向的軸向運動裝置，搭配兩個Y方向軸向運動裝置，使對位系統的運動更為流暢，機構更為穩定，本實用新型推進了曝光機對位系統的技術進步。?

附圖說明

下面通過參考附圖并結合實例具體地描述本實用新型，本實用新型的優點和實現方式將會更加明顯，其中附圖所示內容僅用于對本實用新型的解釋說明，而不構成對本實用新型的任何意義上的限制，在附圖中：

圖1為本實用新型曝光機對位系統XYY機構示意圖；

圖2為本實用新型曝光機對位系統XYY機構分拆零件示意圖；

圖3為本實用新型曝光機對位系統XYY機構移動裝置示意圖；

圖4為本實用新型曝光機對位系統XYY機構動力裝置示意圖；

圖5為本實用新型曝光機對位系統XYY機構運動板示意圖。

具體實施方式