[實用新型]一種曝光機對位系統XYY機構有效
| 申請號： | 201220465798.3 | 申請日： | 2012-09-13 |
| 公開（公告）號： | CN202886839U | 公開（公告）日： | 2013-04-17 |
| 發明（設計）人： | 袁強;劉長征 | 申請（專利權）人： | 東莞市海圣光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 東莞市中正知識產權事務所 44231 | 代理人： | 劉林 |
| 地址： | 523000 廣東省東莞市長安*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 曝光 對位 系統 xyy 機構 | ||
1.一種曝光機對位系統XYY機構，其特征在于：包括對位模組固定板、運動板、X方向移動裝置、第一Y方向移動裝置和第二Y方向移動裝置，X方向移動裝置、第一Y方向移動裝置和第二Y方向移動裝置分別與所述對位模組固定板、所述運動板活動連接，還包括設置在所述對位模組固定板上的X方向動力裝置、第一Y方向動力裝置和第二Y方向動力裝置，X方向動力裝置帶動X方向移動裝置沿X方向往復運動，X方向移動裝置帶動所述運動板沿X方向往復移位，第一Y方向動力裝置帶動第一Y方向移動裝置沿Y方向往復運動，第一Y方向移動裝置帶動所述運動板沿Y方向往復移位，第二Y方向動力裝置帶動第二Y方向移動裝置沿Y方向往復運動，第二Y方向移動裝置帶動所述運動板沿Y方向往復移位。
2.根據權利要求1所述的曝光機對位系統XYY機構，其特征在于：X方向移動裝置包括X方向移動板，X方向移動板與所述運動板通過軸承活動連接，X方向移動板的下端面上設置有滑軌和滑槽，所述滑軌沿所述對位模組固定板上的第一固定板滑槽往復移動，所述軸承的上方設置有滑塊，所述滑塊沿所述滑槽往復移動。
3.根據權利要求1所述的曝光機對位系統XYY機構，其特征在于：第一Y方向移動裝置包括第一Y方向移動板，第一Y方向移動板與所述運動板通過軸承活動連接，第一Y方向移動板的下端面上設置有滑軌和滑槽，所述滑軌沿所述對位模組固定板上的第二固定板滑槽往復移動，所述軸承的上方設置有滑塊，所述滑塊沿所述滑槽往復移動。
4.根據權利要求1所述的曝光機對位系統XYY機構，其特征在于：第二Y方向移動裝置包括第二Y方向移動板，?第二Y方向移動板與所述運動板通過軸承活動連接，第二Y方向移動板的下端面上設置有滑軌和滑槽，所述滑軌沿所述對位模組固定板上的第三固定板滑槽往復移動，所述軸承的上方設置有滑塊，所述滑塊沿所述滑槽往復移動。
5.根據權利要求2所述的曝光機對位系統XYY機構，其特征在于：X方向動力裝置包括電機和與所述電機固定連接的偏心輪，所述偏心輪與X方向移動板之間通過彈簧連接，所述彈簧消除所述偏心輪與X方向移動板之間的間隙。
6.根據權利要求3所述的曝光機對位系統XYY機構，其特征在于：第一Y方向動力裝置包括電機和與所述電機固定連接的偏心輪，所述偏心輪與第一Y方向移動板之間通過彈簧連接，所述彈簧消除所述偏心輪與第一Y方向移動板之間的間隙。
7.根據權利要求4所述的曝光機對位系統XYY機構，其特征在于：第二Y方向動力裝置包括電機和與所述電機固定連接的偏心輪，所述偏心輪與第二Y方向移動板之間通過彈簧連接，所述彈簧消除所述偏心輪與第二Y方向移動板之間的間隙。
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