[實用新型]用于濕法化學處理的設備

有效

• 申請號: 201220451012.2
• 申請日: 2012-09-05
• 公開（公告）號: CN203055873U
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 約爾格·弗蘭茨克;馬蒂亞斯·尼澤;于爾根·施韋希肯迪克
• 申請（專利權）人: 睿納有限責任公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 張春水;田軍鋒

1.用于濕法化學處理的設備，其設置用于借助處理液（F）對襯底進行濕法化學處理，所述用于濕法化學處理的設備包括：具有外壁（2）的、能夠替換的處理池（1）；設置在所述處理池（1）之下的用于容納的容器（5），用于容納從所述處理池（1）中流出的處理液（F）；以及至少兩根偏心軸（9），借助于所述偏心軸（9）能夠將所述處理池（1）通過提升來與所述用于容納的容器（5）分離。?

2.根據權利要求1所述的用于濕法化學處理的設備，其中在提升的位置中，所述處理池（1）能夠在所述至少兩根偏心軸（9）上移動。?

3.根據權利要求1或2所述的用于濕法化學處理的設備，其中在所述處理池（1）的所述外壁（2）和所述用于容納的容器（5）之間的過渡區域中設置有基于液體的密封部（8），通過在所述過渡區域中提供液體收集容積部實現所述密封部的構成。?

4.根據權利要求3所述的用于濕法化學處理的設備，其中所述液體收集容積部具有小于所述偏心軸（9）的偏心距的深度。?

5.根據權利要求1、2或4之一所述的用于濕法化學處理的設備，其中所述偏心軸（9）從所述用于濕法化學處理的設備的提取側朝向與所述提取側對置的后側傾斜地延伸。?

6.根據權利要求3所述的用于濕法化學處理的設備，其中所述偏心軸（9）從所述用于濕法化學處理的設備的提取側朝向與所述提取側對置的后側傾斜地延伸。?