[實用新型]一種載物臺

有效

• 申請號: 201220439713.4
• 申請日: 2012-08-30
• 公開（公告）號: CN202749333U
• 公開（公告）日: 2013-02-20
• 發明（設計）人: 李莉
• 申請（專利權）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

技術領域

本實用新型涉及太陽能光伏行業檢測技術領域，尤其涉及一種載物臺。

背景技術

當電力、煤炭、石油等不可再生能源頻頻告急，能源問題日益成為制約國際社會經濟發展的瓶頸時，越來越多的國家開始實行“陽光計劃”，開發太陽能資源，尋求經濟發展的新動力。歐洲一些高水平的核研究機構也開始轉向可再生能源。在國際光伏市場巨大潛力的推動下，各國的太陽能光伏業爭相投入巨資，擴大生產，以爭一席之地。

目前在太陽能光伏行業里，掃描電子顯微鏡掃描的檢測工作中經常會遇到顆粒狀物質形貌檢測，比如碳化硅顆粒和硅粉等，以及電池片柵線或制絨表面的形貌分析、柵線截面或者鋁背場斷面分析一起送樣檢測的情況，簡單的來說，就是對待檢測物體進行顆粒檢測、表面檢測以及截面檢測三種檢測。

其中，掃描電子顯微鏡是指利用電子和物質的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息，如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等的設備裝置。同時使用掃描電子顯微鏡與真空腔室配合使用完成掃描檢測，樣品在真空腔室接受電子束攻擊，產生各種電子信號，供各種探測裝置搜集，用以轉變成測試要求所需的各種信息。

請參考圖6，圖6為現有技術中載物臺的結構示意圖。對于顆粒檢測、平面檢測以及截面檢測，需要將待檢測的物體通過雙面導電碳膠帶粘貼在載物臺上，然后將載物臺固定在真空腔室的樣品臺上，掃描電子顯微鏡開始進行掃描。載物臺本身的載物面為一個圓面，顆粒檢測和平面檢測時，待檢測的物體都能夠很好的用雙面導電碳膠帶粘貼在載物面上，但是在進行截面檢測時，太陽能光伏行業里的待檢測的物體均為片狀或者扁狀的物體，需要將截面朝上進行立放，此時需要將與該截面相對應的面用雙面導電碳膠帶粘貼在載物臺上，使得截面朝上，便于接受電子束的攻擊，與該截面相對應的面的面積也是較小的，那么待檢測的物體不能夠穩定的固定在載物面上，在電子束的攻擊下，由于樣品的不穩定，產生了圖像模糊不清等問題。

因此，如何提供一種載物臺，以實現進行截面檢測時待檢測的物體穩定的放置在載物臺上，是目前本領域技術人員亟待解決的技術問題。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種載物臺，以實現進行截面檢測時待檢測的物體穩定的放置在載物臺上。

為了達到上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種載物臺，用于掃描電子顯微鏡掃描，所述載物臺為半圓柱體。

優選的，上述半圓柱體的圓弧對應的圓心角不小于180°。

優選的，上述半圓柱體的圓面上設置有第一銅柱孔，用于放置銅柱。

優選的，上述第一銅柱孔為多個。

優選的，上述第一銅柱孔的圓心組成一條圓弧，所述圓弧的圓心與所述半圓柱體的圓心重合。

優選的，上述第一銅柱孔的直徑為5mm-10mm。

優選的，上述半圓柱體的截面上設置有第二銅柱孔，用于放置銅柱。

優選的，上述第二銅柱孔的直徑為5mm。

本實用新型提供的載物臺用于掃描電子顯微鏡掃描，所述載物臺為半圓柱體。半圓柱體除了具有上下兩個半圓形平面以及一個曲面之外，還具有一個截面，進行顆粒檢測和平面檢測時，待檢測的物體都能夠很好的用雙面導電碳膠帶粘貼在上面的半圓形平面上，將進行截面檢測時，待檢測的物體的截面朝上，其側面具有較大的面積，將其側面用雙面導電碳膠帶貼附在半圓柱體的截面上，增大了待測的物體的用于固定的面積，從而增加了待測的物體的穩定性，實現了進行截面檢測時待檢測的物體穩定的放置在載物臺上，并且能夠實現顆粒檢測、平面檢測和截面檢測三種檢測同時進行。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型實施例提供的載物臺第一種具體實施方式的結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例提供的載物臺中圓心角的的結構示意圖；

圖3為本實用新型實施例提供的載物臺第二種具體實施方式的結構示意圖；

圖4為本實用新型實施例提供的載物臺第三種具體實施方式的結構示意圖；

圖5為本實用新型實施例提供的載物臺使用時的示意圖；

圖6為現有技術中載物臺的結構示意圖。

上圖1-6中：