[實用新型]一種載物臺有效
| 申請號： | 201220439713.4 | 申請日： | 2012-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN202749333U | 公開（公告）日： | 2013-02-20 |
| 發明（設計）人： | 李莉 | 申請（專利權）人： | 英利能源（中國）有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/20 | 分類號： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏曉波 |
| 地址： | 071051 河*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 載物臺 | ||
【權利要求書】：
1.一種載物臺，用于掃描電子顯微鏡掃描，其特征在于，所述載物臺為半圓柱體（1）。
2.根據權利要求1所述的載物臺，其特征在于，所述半圓柱體（1）的圓弧對應的圓心角不小于180°。
3.根據權利要求1所述的載物臺，其特征在于，所述半圓柱體（1）的圓面上設置有第一銅柱孔（3），用于放置銅柱。
4.根據權利要求3所述的載物臺，其特征在于，所述第一銅柱孔（3）為多個。
5.根據權利要求4所述的載物臺，其特征在于，所述第一銅柱孔（3）的圓心組成一條圓弧，所述圓弧的圓心與所述半圓柱體（1）的圓心重合。
6.根據權利要求3所述的載物臺，其特征在于，所述第一銅柱孔（3）的直徑為5mm-10mm。
7.根據權利要求1所述的載物臺，其特征在于，所述半圓柱體（1）的截面上設置有第二銅柱孔（4），用于放置銅柱。
8.根據權利要求7所述的載物臺，其特征在于，所述第二銅柱孔（4）的直徑為5mm。
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