[實(shí)用新型]一種用于半導(dǎo)體制程室的移動門

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220437568.6
• 申請日: 2012-08-30
• 公開（公告）號: CN202772113U
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許亮
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 李儀萍

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備，特別是涉及一種用于半導(dǎo)體制程室的移動門。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展，半導(dǎo)體器件的特征尺寸的不斷縮小，其器件性能越來越高，對器件制造環(huán)境的要求也達(dá)到了前所未有的高度。半導(dǎo)體中的雜質(zhì)對電阻率的影響非常大，半導(dǎo)體中摻入微量雜質(zhì)時(shí)，雜質(zhì)原子附近的周期勢場受到干擾并形成附加的束縛狀態(tài)，在禁帶中產(chǎn)加的雜質(zhì)能級。為了滿足量產(chǎn)上的需求，半導(dǎo)體的電性必須是可預(yù)測并且穩(wěn)定的，因此包括摻雜物的純度以及半導(dǎo)體晶格結(jié)構(gòu)的品質(zhì)都必須嚴(yán)格要求。

半導(dǎo)體技術(shù)是指半導(dǎo)體加工的各種技術(shù)，包括晶圓的生長技術(shù)、薄膜沉積、光刻、蝕刻、摻雜技術(shù)和工藝整合等技術(shù)。可見，半導(dǎo)體制程是一項(xiàng)復(fù)雜的制作流程，先進(jìn)的IC所需要的制作程序達(dá)一千個(gè)以上的步驟。這些步驟先依不同的功能組合成小的單元，稱為單元制程，如蝕刻、微影與薄膜制程；幾個(gè)單元制程組成具有特定功能的模塊制程，最后再組合這些模塊制程成為某種特定IC的整合制程。現(xiàn)有的半導(dǎo)體制程一般是將半導(dǎo)體晶圓放置于密封性良好的制程室內(nèi)進(jìn)行，以保證半導(dǎo)體器件制備的穩(wěn)定性。

密封門是半導(dǎo)體制程室的一個(gè)重要的設(shè)備。現(xiàn)有的密封門一般包括門板及一固定轉(zhuǎn)軸，所述門板垂直于所述固定轉(zhuǎn)軸，且可隨所述固定轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動對密封門進(jìn)行開關(guān)。這種設(shè)計(jì)的密封門由于是單軸固定旋轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)的，故密封門的重量均受力于所述固定轉(zhuǎn)軸上，容易造成固定轉(zhuǎn)軸的彎曲，影響門板的正常轉(zhuǎn)動，造成門板被制程室的側(cè)壁刮傷，同時(shí)容易造成氣密性降低等問題。

因此，提供一種新型的能穩(wěn)定密封的制程室密封門實(shí)屬必要。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于半導(dǎo)體制程室的移動門，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中單軸密封門在開關(guān)過程中容易變形導(dǎo)致門板被刮傷而影響門板密封性等問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種用于半導(dǎo)體制程室的移動門，所述移動門至少包括兩個(gè)滑道、門板、空心密封圈以及門框，其中：

所述兩個(gè)滑道間隔固定于所述制程室的側(cè)壁上；

所述門板上下卡接于所述兩個(gè)滑道內(nèi)并可沿與滑道平行的方向移動；

所述門框固定于所述制程室的側(cè)壁上，且其面積小于所述門板的面積；

所述空心密封圈固定于所述門板的內(nèi)側(cè)四周，具有與所述門框?qū)?yīng)的形狀、大小及位置，且具有分別連接至其內(nèi)部的進(jìn)氣管及排氣管；

所述空心密封圈充氣時(shí)與所述門框密封，排氣時(shí)與所述門框分離。

作為本實(shí)用新型的用于半導(dǎo)體制程室的移動門的一個(gè)優(yōu)選方案，所述門板上下底部具有垂直固定于所述門板的連接部，且所述連接部卡接于所述滑道內(nèi)，使所述門板與所述門框具有預(yù)設(shè)間隔。

進(jìn)一步地，所述門板底部的連接部具有多個(gè)滑輪，各該滑輪卡接于所述滑道內(nèi)。

作為本實(shí)用新型的用于半導(dǎo)體制程室的移動門的另一優(yōu)選方案，所述門框的形狀為圓形或圓角多邊形。

作為本實(shí)用新型的用于半導(dǎo)體制程室的移動門的另一優(yōu)選方案，所述空心密封圈為空心的環(huán)形橡膠管。

作為本實(shí)用新型的用于半導(dǎo)體制程室的移動門的另一優(yōu)選方案，所述進(jìn)氣管及排氣管均設(shè)置有開關(guān)閥門。

如上所述，本實(shí)用新型的用于半導(dǎo)體制程室的移動門，具有以下有益效果：所述移動門至少包括兩個(gè)滑道、門板、空心密封圈以及門框；所述兩個(gè)滑道間隔固定于制程室的側(cè)壁；所述門板上下卡接于所述兩個(gè)滑道內(nèi)并可沿與滑道平行的方向移動；所述門框固定于制程室的側(cè)壁；所述空心密封圈固定于所述門板的內(nèi)側(cè)四周，具有與所述門框?qū)?yīng)的形狀、大小及位置，且具有分別連接至其內(nèi)部的進(jìn)氣管道及排氣管道；所述空心密封圈充氣時(shí)與所述門框密封，排氣時(shí)與所述門框分離。本實(shí)用新型采用并行滑道設(shè)計(jì)的移動門，有效的改善了現(xiàn)有的單軸式密封門容易變形的缺陷；于門板與門框中加入了空心密封圈，有效的提高了移動門的氣密性，并且解決了移動門容易被刮傷的問題。

附圖說明

圖1顯示為本實(shí)用新型用于半導(dǎo)體制程室移動門的實(shí)施例1的平面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2顯示為本實(shí)用新型用于半導(dǎo)體制程室移動門的實(shí)施例1中移動門打開時(shí)的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3顯示為本實(shí)用新型用于半導(dǎo)體制程室的移動門實(shí)施例1中移動門關(guān)閉時(shí)的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4顯示為本實(shí)用新型用于半導(dǎo)體制程室的移動門實(shí)施例2的平面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5顯示為本實(shí)用新型用于半導(dǎo)體制程室的移動門實(shí)施例2中移動門打開時(shí)的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。