[實用新型]一種用于半導體制程室的移動門

有效

• 申請號: 201220437568.6
• 申請日: 2012-08-30
• 公開（公告）號: CN202772113U
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 許亮
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種用于半導體制程室的移動門，其特征在于，所述移動門至少包括兩個滑道、門板、空心密封圈以及門框，其中：

所述兩個滑道間隔固定于所述制程室的側壁上；

所述門板上下卡接于所述兩個滑道內并可沿與滑道平行的方向移動；

所述門框固定于所述制程室的側壁上，且其面積小于所述門板的面積；

所述空心密封圈固定于所述門板的內側四周，具有與所述門框對應的形狀、大小及位置，且具有分別連接至其內部的進氣管及排氣管；

所述空心密封圈充氣時與所述門框密封，排氣時與所述門框分離。

2.根據權利要求1所述的用于半導體制程室的移動門，其特征在于：所述門板上下底部具有垂直固定于所述門板的連接部，且所述連接部卡接于所述滑道內，使所述門板與所述門框具有預設間隔。

3.根據權利要求2所述的用于半導體制程室的移動門，其特征在于：所述門板底部的連接部具有多個滑輪，各該滑輪卡接于所述滑道內。

4.根據權利要求1所述的用于半導體制程室的移動門，其特征在于：所述門框的形狀為圓形或圓角多邊形。

5.根據權利要求1所述的用于半導體制程室的移動門，其特征在于：所述空心密封圈為空心的環形橡膠管。

6.根據權利要求1所述的用于半導體制程室的移動門，其特征在于：所述進氣管及排氣管均設置有開關閥門。