[實(shí)用新型]一種多晶硅料干燥系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220436762.2 | 申請日: | 2012-08-30 |
| 公開(公告)號(hào): | CN202813984U | 公開(公告)日: | 2013-03-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 左國軍 | 申請(專利權(quán))人: | 常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司 |
| 主分類號(hào): | F26B9/00 | 分類號(hào): | F26B9/00;F26B21/00;F26B25/18 |
| 代理公司: | 深圳市康弘知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44247 | 代理人: | 胡朝陽;孫潔敏 |
| 地址: | 213125 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 多晶 干燥 系統(tǒng) | ||
1.一種多晶硅料干燥系統(tǒng),其特征在于,包括鼓風(fēng)機(jī)(1)、通過第一管道(2)與該鼓風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口連接的一級(jí)過濾裝置(3)、該鼓風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口通過第二管道(4)與二級(jí)過濾裝置(5)的進(jìn)風(fēng)口連接、該二級(jí)過濾裝置(5)的出風(fēng)口通過第三管道(6)與烘干處理槽(7)的進(jìn)風(fēng)口連接。
2.如權(quán)利要求1所述的多晶硅料干燥系統(tǒng),其特征在于,所述的烘干處理槽(7)包括:設(shè)于槽體上方的自動(dòng)蓋(8)、槽體外壁包裹的保溫棉(9),設(shè)于槽體內(nèi)腔壁上多個(gè)方位的吹氣管(10),該吹氣管與所述的第三管道(6)連通;所述烘干處理槽(7)的出風(fēng)口處連接有抽風(fēng)管(11)。
3.如權(quán)利要求2所述的多晶硅料干燥系統(tǒng),其特征在于,所述的抽風(fēng)管(11)由內(nèi)襯鋼絲網(wǎng)的PVC材料制作,該抽風(fēng)管道上還設(shè)有調(diào)風(fēng)閥(12)。
4.如權(quán)利要求1所述的多晶硅料干燥系統(tǒng),其特征在于,還包括設(shè)于所述烘干處理槽(7)內(nèi)的清洗籃(13),該清洗籃的四周設(shè)有多個(gè)透風(fēng)口(14)、且底部設(shè)有隔桿(15)。
5.如權(quán)利要求4所述的多晶硅料干燥系統(tǒng),其特征在于,所述的鼓風(fēng)機(jī)(1)連接有電機(jī)保護(hù)器、過濾保護(hù)器和相序保護(hù)器。
6.如權(quán)利要求1所述的多晶硅料干燥系統(tǒng),其特征在于,所述的鼓風(fēng)機(jī)(1)為高壓渦流鼓風(fēng)機(jī)。
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