[實用新型]一種多晶硅料干燥系統

有效

• 申請號: 201220436762.2
• 申請日: 2012-08-30
• 公開（公告）號: CN202813984U
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發明（設計）人: 左國軍
• 申請（專利權）人: 常州捷佳創精密機械有限公司
• 主分類號: F26B9/00
• 分類號: F26B9/00;F26B21/00;F26B25/18
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247
• 代理人: 胡朝陽;孫潔敏

技術領域

本實用新型涉及一種烘干系統，尤其涉及應用于硅料類材料清洗后需要避免二次污染的干燥系統。

背景技術

現有的硅料烘干技術對有高潔靜度要求的硅料類材料進行清洗后，要求表面不能附著有水，以免對后續工序造成不良影響。而現有的烘干系統大多采用電加熱器預加熱空氣，再用普通鼓風機吹送的方法，烘干設定溫度一般為80Co左右。然而，在實際使用時，存在因局部過熱而損壞空氣過濾器的問題，甚至有進而發生火災的風險。

如何提供一種使用安全的硅料干燥系統是業界亟待解決的技術問題。

發明內容

本實用新型為了解決現有硅料烘干系統的安全性欠佳的技術問題，提出一種安全、高效和低成本的多晶硅料干燥系統。

本實用新型提出的多晶硅料干燥系統，包括鼓風機、通過第一管道與該鼓風機的進風口連接的一級過濾裝置、該鼓風機的出風口通過第二管道與二級過濾裝置的進風口連接、該二級過濾裝置的出風口通過第三管道與烘干處理槽的進風口連接。

優選的，烘干處理槽包括：設于槽體上方的自動蓋、槽體外壁包裹的保溫棉，設于槽體內腔壁上多個方位的吹氣管，該吹氣管與所述的第三管道連通，烘干處理槽的出風口處連接有抽風管。

優選的，抽風管由內襯鋼絲網的PVC材料制作，該抽風管道上還設有調風閥。

優選的，烘干處理槽內的清洗籃，該清洗籃的四周設有多個透風口、且底部設有隔桿。

優選的，鼓風機連接有電機保護器、過濾保護器和相序保護器。

優選的，鼓風機為高壓渦流鼓風機。

本實用新型使用時，不僅利用高壓渦流鼓風機來產生流動的熱空氣，還利用了高壓渦流鼓風機工作時產生的余熱來加熱空氣，進一步提高了效率，節省了成本，然后再利用烘干處理槽上的各個方向的吹氣孔，讓硅片各個方向都能夠接觸熱空氣，清洗籃上多個透氣孔更加促進了熱空氣的流通，從而達到快速、安全地烘干硅片的目的。

附圖說明

圖1為本實用新型較佳實施例的結構示意圖；

圖2為本實用新型較佳實施例的烘干處理槽的橫截面示意圖；

圖3為本實用新型較佳實施例的烘干處理槽的縱截面示意圖。

具體實施方式

如圖1所示，本實用新型較佳實施例提供的一種多晶硅料干燥系統，包括鼓風機1、通過第一管道2與該鼓風機的進風口連接的一級（初效）過濾裝置3、該鼓風機的出風口通過第二管道4與二級（高效）過濾裝置5的進風口連接、該二級（高效）過濾裝置5的出風口通過第三管道6與烘干處理槽7的進風口連接。

如圖2所示，烘干處理槽7包括：設于槽體上方的自動蓋8、槽體外壁包裹的保溫棉9，設于槽體內腔壁上多個方位的吹氣管10，該吹氣管與圖1中所示的第三管道6連通。烘干處理槽7內的清洗籃13的四周設有多個透風口14、且底部設有隔桿15。

如圖3所示，烘干處理槽7的出風口處連接有抽風管11。抽風管11由內襯鋼絲網的PVC材料制作，該抽風管道上還設有調風閥12。

鼓風機的數量可以根據需要來設置，本實施例，鼓風機1為一套高壓渦流風機，并且連接有電機保護器、過濾保護器和相序保護器。

本實用新型使用時，外界大氣通過一級（初效）過濾裝置3進行初步過濾后，進入高壓渦流鼓風機1內，高壓渦流鼓風機1工作時，氣體從進氣口被吸入，當進入側通道（圖中未標出）后旋轉葉輪在旋轉方向上給氣體一個速度，同時葉片上的離心力使氣體向外加速增加了壓力，而隨著旋轉的進行，氣體動能增加，使得沿側通道的氣體壓力進一步增加。由于側通道的出氣口變窄，氣體被擠出出口時增溫，變成一股快速的熱空氣，再利用高壓渦流鼓風機1工作時產生的余熱，送入進風口產生二次進風，使得流動的空氣溫度達到約60℃，這種方法不僅安全，而且最大限度地利用了渦流鼓風機產生的熱能，提高了轉化效率。

熱空氣再經過二級（高效）過濾裝置5進一步過濾，去除金屬粉塵以及其他雜質后，進入烘干處理槽7內，烘干處理槽7內各個方向上都設有吹氣孔10，熱空氣流經吹氣孔10，從多個方向與硅片進行接觸，為了進一步方便硅料烘干，清洗籃13四周留有許多透風口14，并在底部設有隔桿15，以便保證清洗籃13內空氣流暢，提高硅料干燥效率，從而降低成本。此外連接于烘干處理槽7出風口處的抽風管11由內襯鋼絲網的PVC材料制作，可以有效地耐溫及耐壓，該抽風管道上還設有調風閥12，從而使空氣不淤積在烘干處理槽7內，避免影響風機的正常運作。

以上具體實施例僅用以舉例說明本實用新型的結構，本領域的普通技術人員在本實用新型的構思下可以做出多種變形和變化，這些變形和變化均包括在本實用新型的保護范圍之內。