[實用新型]氣體輸送系統有效
| 申請號： | 201220434914.5 | 申請日： | 2012-08-29 |
| 公開（公告）號： | CN202758844U | 公開（公告）日： | 2013-02-27 |
| 發明（設計）人： | 鄭修鋒;解毅;朱義黨;胡可綠;王華鈞;忻圣波 | 申請（專利權）人： | 上海宏力半導體制造有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 鄭瑋 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣體 輸送 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種氣體輸送系統，包括連接至氣源的氣體入口、連接至反應腔的氣體出口；連接于氣體入口與氣體出口之間的過濾器；連接于過濾器與氣體出口之間的流量控制閥；其特征在于，該氣體輸送系統還包括連接于過濾器與流量控制閥之間的止回閥。
2.如權利要求1所述的氣體輸送系統，其特征在于：所述反應腔上連接有多條氣體輸送系統，多條氣體輸送系統分別連接至不同氣源。
3.如權利要求2所述的氣體輸送系統，其特征在于：所述氣源為反應物氣體或者惰性氣體。
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