[實用新型]OLED蒸鍍用掩膜板有效
| 申請號： | 201220434085.0 | 申請日： | 2012-08-29 |
| 公開（公告）號： | CN202786401U | 公開（公告）日： | 2013-03-13 |
| 發明（設計）人： | 高昕偉 | 申請（專利權）人： | 四川虹視顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/24;H01L27/32;H01L51/56 |
| 代理公司： | 成都宏順專利代理事務所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 周永宏 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | oled 蒸鍍用掩膜板 | ||
【權利要求書】：
1.OLED蒸鍍用掩膜板，包括設置在掩膜板本體（1）上的至少一個蒸鍍單元（3），每一個蒸鍍單元（3）包含呈規則排列的蒸鍍缺口（301），其特征在于：所述掩膜板本體（1）上位于其蒸鍍單元（3）處的厚度（H1）小于該掩膜板本體（1）的外形厚度（H2）。
2.如權利要求1所述的OLED蒸鍍用掩膜板，其特征在于：所述蒸鍍單元（3）設置在位于掩膜板本體（1）上與之對應的預成型凹槽（2）的底部。
3.如權利要求2所述的OLED蒸鍍用掩膜板，其特征在于：所述預成型凹槽（2）的大小與對應的蒸鍍單元（3）的大小一致或略大于該蒸鍍單元（3）的大小。
4.如權利要求1、2或3所述的OLED蒸鍍用掩膜板，其特征在于：所述掩膜板本體（1）上位于其蒸鍍單元（3）處的厚度（H1）為10至30微米，該掩膜板本體（1）的外形厚度（H2）為30至150微米。
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