[實用新型]用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷

有效

• 申請號: 201220429499.4
• 申請日: 2012-08-27
• 公開（公告）號: CN202860943U
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 何軍舫;王軍勇
• 申請（專利權）人: 北京博宇半導體工藝器皿技術有限公司
• 主分類號: B08B9/087
• 分類號: B08B9/087
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

技術領域

本實用新型涉及熱解氮化硼坩堝制備技術領域，具體地說是一種用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷。

背景技術

因諸多工藝條件等因素的限制，分子束外延等生產工藝中經常需要使用細頸球形氮化硼坩堝。細頸球形氮化硼坩堝的制備和其他氮化硼坩堝一樣，是在沉積爐內，在2000℃左右的高溫條件下，由三氯化硼和氨氣反應生成氣態氮化硼分子，生成的氮化硼沉積在位于沉積爐內的石墨模具表面上，從而形成細頸球形氮化硼坩堝。氮化硼質地較脆，而且氮硼坩堝一般比較薄，在沉積工序完成后，如何從細頸瓶中去除石墨模具，一直是一個工藝難題。目前主要是采用人工打磨的方式去除石墨模具。但人工打磨的方式效率低，且對操作要求高。為此本案的設計人提出采用形狀與模具相適應的鋼刷放入模具內部對模具進行機械打磨的方式。較人工方式效率有較大提高，但模具在出爐后，因其熱膨脹系數比氮化硼大，所以兩者產生分離，采用打磨的鋼刷轉動方式去除石墨模具時，經常因兩者分離，發生模具和鋼刷同時轉動，無法打磨的現象。

有鑒于上述現有的用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷在使用中存在的諸多問題，本實用新型的設計人依靠多年的工作經驗和豐富的專業知識積極加以研究和創新，最終研發出一種新穎的用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷，避免了石墨模具隨鋼刷同時轉動的問題，保證了鋼刷對模具進行有效的打磨。

實用新型內容

為了解決現有技術中存在的上述問題，本實用新型提供了一種用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷，避免了石墨模具隨鋼刷同時轉動的問題，保證了鋼刷對模具進行有效的打磨。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用了如下技術方案：

用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷，包括鋼刷軸，鋼刷軸上套設有以鋼刷軸為中心軸旋轉的鋼刷套，所述鋼刷套的外壁具有刷齒，所述鋼刷軸的端部具有至少兩個固定凸起或固定凹槽。

進一步，所述鋼刷套上具有用于與驅動齒輪嚙合的傳動齒。

進一步，所述固定凸起呈圓錐形或棱錐形。

進一步，所述鋼刷套與鋼刷軸之間設有軸承。

進一步，所述固定凸起或固定凹槽為三個，呈品字形分布。

進一步，所述刷齒為鋼絲構成。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果在于：

本實用新型的用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷通過在鋼刷軸外套設可周向轉動的帶有刷齒的鋼刷套使鋼刷軸固定而鋼刷套轉動，通過鋼刷軸端部的固定凸起或固定凹槽使石墨模具與鋼刷軸在周向上相對定位，避免了石墨模具隨鋼刷套同時轉動，保證了鋼刷套上的刷齒對模具進行有效的打磨。提高了工作效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷的一種實施例的結構示意圖；

圖2為本實用新型的用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷的另一種實施例的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細描述，但不作為對本實用新型的限定。

實施例1

圖1為本實用新型的用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷的一種實施例的結構示意圖。如圖1所示，用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷，包括鋼刷軸1，鋼刷軸1上套設有以鋼刷軸1為中心軸旋轉的鋼刷套2。本領域技術人員可以找到多種鋼刷套與鋼刷軸連接的具體方式，如圖1所示，在鋼刷軸1的一端具有凸塊8，另一端螺紋連接有螺母7，鋼刷套2沿軸向固定于凸塊8與螺母7之間?；蛘呷鐖D2所示，圖2為本實用新型的用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷的另一種實施例的結構示意圖。鋼刷套2與鋼刷軸1之間設有軸承5。軸承5保證了鋼刷套2與鋼刷軸1沿軸向相對固定，而沿周向相對轉動。鋼刷套2的外壁具有刷齒3，鋼刷軸1的端部具有至少兩個固定凸起4或固定凹槽。圖中給出的為固定凸起4的示意圖。通過與石墨模具內的對應的凹槽或凸起相配合，達到限制石墨模具隨鋼刷一同轉動的目的。鋼刷套2上具有用于與驅動齒輪嚙合的傳動齒6。當然也可通過其他形式使驅動裝置與鋼刷套2驅動連接。