[實用新型]用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷有效
| 申請號: | 201220429499.4 | 申請日: | 2012-08-27 |
| 公開(公告)號: | CN202860943U | 公開(公告)日: | 2013-04-10 |
| 發明(設計)人: | 何軍舫;王軍勇 | 申請(專利權)人: | 北京博宇半導體工藝器皿技術有限公司 |
| 主分類號: | B08B9/087 | 分類號: | B08B9/087 |
| 代理公司: | 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王偉鋒;劉鐵生 |
| 地址: | 101101 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 去除 氮化 硼細頸 蒸發 坩堝 石墨 模具 | ||
1.用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷,包括鋼刷軸,鋼刷軸上套設有以鋼刷軸為中心軸旋轉的鋼刷套,其特征在于,所述鋼刷套的外壁具有刷齒,所述鋼刷軸的端部具有至少兩個固定凸起或固定凹槽。
2.根據權利要求1所述的用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷,其特征在于,所述鋼刷套上具有用于與驅動齒輪嚙合的傳動齒。
3.根據權利要求1所述的用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷,其特征在于,所述固定凸起呈圓錐形或棱錐形。
4.根據權利要求1所述的用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷,其特征在于,所述鋼刷套與鋼刷軸之間設有軸承。
5.根據權利要求1所述的用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷,其特征在于,所述固定凸起或固定凹槽為三個,呈品字形分布。
6.根據權利要求1所述的用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷,其特征在于,所述刷齒為鋼絲構成。
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