[實用新型]單晶硅太陽能電池片單面堿制絨裝置有效

申請號：	201220425687.X	申請日：	2012-08-27
公開（公告）號：	CN202786522U	公開（公告）日：	2013-03-13
發明（設計）人：	沈專;林佳繼;趙同榮	申請（專利權）人：	韓華新能源（啟東）有限公司
主分類號：	C30B33/10	分類號：	C30B33/10;H01L31/18
代理公司：	南通市永通專利事務所 32100	代理人：	葛雷
地址：	226200 江蘇省南***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	單晶硅太陽能電池單面堿制絨裝置
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【權利要求書】：

1.?一種單晶硅太陽能電池片單面堿制絨裝置，其特征是：包括放置待加工硅片的承載盒；待加工硅片背面設置噴出均勻的堿腐蝕液、對硅片背面進行單晶制絨的噴霧化噴頭；在噴霧化噴頭下方設置防止大顆粒雜物以及碎片掉入反應池內的過濾網，過濾網下方為反應池；另設有控制反應池內溶液的均勻性、并將反應池中堿腐蝕液輸向噴霧化噴頭的抽液泵。

2.?根據權利要求1所述的單晶硅太陽能電池片單面堿制絨裝置，其特征是：待加工硅片上方為壓縮空氣層。

3.?根據權利要求1或2所述的單晶硅太陽能電池片單面堿制絨裝置，其特征是：循環泵至少有兩個，且各循環泵分開設置。

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