[實用新型]具有防塵結構的真空等離子腔室有效
| 申請號： | 201220424717.5 | 申請日： | 2012-08-24 |
| 公開（公告）號： | CN202796847U | 公開（公告）日： | 2013-03-13 |
| 發明（設計）人： | 施露;邱勇;黃秀頎;鐘立華;習王峰 | 申請（專利權）人： | 昆山工研院新型平板顯示技術中心有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250 | 代理人： | 穆瑞丹 |
| 地址： | 215300 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 防塵 結構 真空 等離子 | ||
1.一種具有防塵結構的真空等離子腔室，其包括上腔室（1）和下腔室（2），所述上腔室（1）和所述下腔室（2）之間通過設置于所述下腔室（2）上端面的密封槽（21）內的密封圈（3）實現密封連接，其特征在于：
所述下腔室（2）或所述上腔室（1）的腔室內壁上可拆卸連接有擋板（4），所述擋板（4）的一部分板面貼合所述上腔室（1）的內壁，一部分板面貼合所述下腔室（2）的內壁。
2.根據權利要求1所述的具有防塵結構的真空等離子腔室，其特征在于：
所述擋板（4）與所述上腔室（1）和所述下腔室（2）貼合的板面的粗糙度Ra大于50微米，其靠近腔室內的板面涂覆絕緣涂層。
3.根據權利要求1或2所述的具有防塵結構的真空等離子腔室，其特征在于：
所述擋板（4）與所述下腔室（2）之間通過螺釘實現螺紋（5）連接，所述螺釘（5）頭部涂覆絕緣涂層。
4.根據權利要求3所述的具有防塵結構的真空等離子腔室，其特征在于：
所述下腔室（2）與所述上腔室（1）的內腔為方形結構，所述隔板（4）的個數與所述下腔室（2）、所述上腔室（1）的邊數相同。
5.根據權利要求1所述的具有防塵結構的真空等離子腔室，其特征在于：
所述擋板（4）與所述上腔室（1）和所述下腔室（2）貼合的板面涂覆粗糙度Ra大于50微米的鋁制磨砂涂層，其靠近工藝腔室內的板面涂覆Al2O3或/和Y2O3絕緣涂層。?
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