[實用新型]一種基板清洗裝置

有效

• 申請號: 201220422568.9
• 申請日: 2012-08-23
• 公開（公告）號: CN202860872U
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 李志賓;劉國梁
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本實用新型涉及半導體清洗設備技術領域，特別是涉及一種渦輪式液刷混合作用的基板清洗裝置。?

背景技術

如圖1所示，目前在液晶顯示器制造工藝中基板清洗及半導體制造行業基板清洗裝置主要包括滾刷主體01和驅動滾刷主體01的驅動裝置，目前，市場上所供應的基板清洗裝置中，滾刷主體01為實心不銹鋼金屬，滾刷主體01的外壁具有呢絨材質的刷毛02。驅動裝置驅動滾刷主體01運動，并通過刷毛02對基板進行清潔。?

但是，上述基板清洗裝置中的滾刷主體01中液體無法與刷毛02同時作用，沒有自清潔能力，需定期人工清洗。?

實用新型內容

本實用新型提供一種半導體制造行業基板清洗裝置，該清洗裝置的刷毛能夠實現自清潔。?

為達到上述目的，本實用新型提供以下技術方案：?

一種渦輪式液刷混合作用基板清洗裝置，包括：?

滾刷主體和驅動所述滾刷主體旋轉的驅動裝置，所述滾刷主體外表面具有刷毛，所述滾刷主體還具有：?

液體流動腔室，位于所述滾刷主體內部，所述液體流動腔室貫穿所述滾刷主體的長度方向，所述液體流動腔室具有兩個進液口，分別位于所述滾刷主體的兩個端面；?

每一個所述進液口處設有轉動時將液體吸入所述液體流動腔室內的半開式葉輪，所述葉輪包括多個葉片和一個端蓋，其中每一個所述葉片的一端固定于所述端蓋，且每一個所述葉片與所述滾刷主體之間相對固定;?

至少一個噴射通道，內端開口位于所述液體流動腔室內壁，外端開口位于所述滾刷主體外表面。?

優選地，所述液體流動腔室內壁設有螺紋狀導水溝道，所述螺紋狀導水溝道的旋向和所述滾刷主體的旋轉方向相同，所述噴射通道的內端開口位于所述螺紋狀導水溝道內。?

優選地，所述噴射通道延伸方向與所述導水溝道的渦流方向相同。?

優選地，所述刷毛與所述噴射通道的外端開口間隔排列。?

優選地，所述刷毛呈螺紋狀固定于滾刷主體外表面。?

優選地，所述液體流動腔室內貫穿一根帶有螺旋輪片的渦輪桿，所述渦輪桿和所述滾刷主體同軸固定。?

優選地，所述驅動裝置為伺服馬達，所述滾刷主體一端設置磁傳動磁盤，所述滾刷主體一端設置的磁傳動磁盤與動力系統伺服馬達連接的磁傳動磁盤磁連接。?

本實用新型提供的基板清洗裝置，包括：滾刷主體和驅動所述滾刷主體旋轉的驅動裝置，所述滾刷主體外表面具有刷毛，所述滾刷主體還具有：?

液體流動腔室，位于所述滾刷主體內部，所述液體流動腔室貫穿所述滾刷主體的長度方向，所述液體流動腔室具有兩個進液口，分別位于所述滾刷主體的兩個端面；?

每一個所述進液口處設有轉動時將液體吸入所述液體流動腔室內的半開式葉輪，所述葉輪包括多個葉片和一個端蓋，其中每一個所述葉片的一端固定于所述端蓋，且每一個所述葉片與所述滾刷主體之間相對固定;?

至少一個噴射通道，內端開口位于所述液體腔室內壁，外端開口位于所述滾刷主體外表面。?

本實用新型提供的基板清洗裝置，在使用過程中，驅動裝置驅動滾刷主體轉動，液體通過進液口進入液體流動腔室內，并通過噴射通道噴出，從而實現液體與刷毛同時作用，實現自清潔。?

所以，本實用新型提供的基板清洗裝置使刷毛能夠實現自清潔。?

另外本實用新型提供的基板清洗裝置由于內部設有液體流動腔室，可以減輕其自身重量，驅動負荷小，可大幅度延長附屬部品使用壽命。?

附圖說明

圖1為現有滾刷主體結構示意圖；?

圖2為渦流式液刷混合作用滾刷主體整體圖；?

圖3為渦流式液刷混合作用滾刷主體沿著滾刷主體軸向橫截面圖；?

圖4為渦流式液刷混合作用滾刷主體內部剖面圖；?

圖5帶有渦桿裝置的滾刷主體內部橫截面圖。?

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。?

請參考圖2和圖3；其中，圖2為本實用新型的整體圖；圖3為本實用新型沿著滾刷主體軸向橫截面圖。?

本實用新型提供的基板清洗裝置，包括：滾刷主體1和驅動滾刷主體1旋轉的驅動裝置，滾刷主體1外表面具有刷毛11，滾刷主體1還具有：?