[實用新型]一種基板清洗裝置有效
| 申請號： | 201220422568.9 | 申請日： | 2012-08-23 |
| 公開（公告）號： | CN202860872U | 公開（公告）日： | 2013-04-10 |
| 發明（設計）人： | 李志賓;劉國梁 | 申請（專利權）人： | 北京京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號： | B08B1/04 | 分類號： | B08B1/04 |
| 代理公司： | 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291 | 代理人： | 黃志華 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 清洗 裝置 | ||
1.一種基板清洗裝置，包括滾刷主體和驅動所述滾刷主體旋轉的驅動裝置，所述滾刷主體外表面具有刷毛，其特征在于，所述滾刷主體還具有：?
液體流動腔室，位于所述滾刷主體內部，所述液體流動腔室貫穿所述滾刷主體的長度方向，所述液體流動腔室具有兩個進液口，分別位于所述滾刷主體的兩個端面；?
每一個所述進液口處設有轉動時將液體吸入所述液體流動腔室內的半開式葉輪，所述葉輪包括多個葉片和一個端蓋，其中每一個所述葉片的一端固定于所述端蓋，且每一個所述葉片與所述滾刷主體之間相對固定；?
至少一個噴射通道，內端開口位于所述液體流動腔室內壁，外端開口位于所述滾刷主體外表面。?
2.根據權利要求1所述的基板清洗裝置，其特征在于，所述液體流動腔室內壁設有螺紋狀導水溝道，所述螺紋狀導水溝道的旋向和所述滾刷主體的旋轉方向相同，每一個所述噴射通道的內端開口位于所述螺紋狀導水溝道內。?
3.根據權利要求2所述的基板清洗裝置，其特征在于，所述噴射通道延伸方向與所述導水溝道的渦流方向相同。?
4.根據權利要求3所述的基板清洗裝置，其特征在于，所述刷毛與所述噴射通道的外端開口間隔排列。?
5.根據權利要求4所述的基板清洗裝置，其特征在于，所述刷毛呈螺紋狀固定于所述滾刷主體外表面。?
6.根據權利要求1~5任一項所述的基板清洗裝置，其特征在于，所述液體流動腔室內貫穿一根帶有螺旋輪片的渦輪桿，所述渦輪桿和所述滾刷主體同軸固定。?
7.根據權利要求6所述的基板清洗裝置，其特征在于，所述驅動裝置為伺服馬達，所述滾刷主體一端設置磁傳動磁盤，所述滾刷主體一端設置的磁傳動磁盤與動力系統伺服馬達連接的磁傳動磁盤磁連接。?
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