[實用新型]一種氣動裝置及真空檢測設備有效
| 申請號： | 201220420493.0 | 申請日： | 2012-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN202735443U | 公開（公告）日： | 2013-02-13 |
| 發明（設計）人： | 郭世波;朱承達;陳慶友;劉靜;孫緯偉 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/00 | 分類號： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氣動 裝置 真空 檢測 設備 | ||
1.一種氣動裝置，其特征在于，包括第一導軌，所述第一導軌上設有可滑動的第二導軌，所述第二導軌上設有可滑動的第一平臺，所述第一平臺上通過氣缸連接有第二平臺；
所述第一導軌與所述第二導軌之間沿所述第一導軌的方向連接有可伸縮的第一氣管，且所述第一導軌設有連通所述第一氣管和氣源裝置的第一管道；
所述第二導軌與所述第一平臺之間沿所述第二導軌的方向連接有可伸縮的第二氣管，且所述第二導軌設有連通所述第一氣管和所述第二氣管的第二管道，所述第二氣管與所述氣缸的進氣端的連通。
2.根據權利要求1所述的氣動裝置，其特征在于，所述可伸縮的第一氣管和/或所述可伸縮的第二氣管為金屬波紋管。
3.根據權利要求1或2所述的氣動裝置，其特征在于，所述第一導軌和所述第二導軌分別通過第一連接法蘭連接所述第一氣管；
所述第二導軌和所述第一平臺分別通過第二連接法蘭連接所述第二氣管。
4.根據權利要求3所述的氣動裝置，其特征在于，所述第一導軌和第二導軌與所述第一氣管的接觸面上分別設有第一密封片。
5.根據權利要求3所述的氣動裝置，其特征在于，所述第二導軌和第一平臺與所述第二氣管的接觸面上分別設有第二密封片。
6.根據權利要求1所述的氣動裝置，其特征在于，所述第一管道安裝在所述第一導軌的內部；
所述第二管道安裝在所述第二導軌的內部。
7.根據權利要求1所述的氣動裝置，其特征在于，所述第一管道一體成型于所述第一導軌的內部；
所述第二管道一體成型于所述第二導軌的內部。
8.一種真空檢測設備，所述真空檢測設備包括真空腔室，其特征在于，所述真空腔室內設置有權利要求1至7任一項所述的氣動裝置。
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