[實用新型]一種氣動裝置及真空檢測設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220420493.0 | 申請日： | 2012-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN202735443U | 公開（公告）日： | 2013-02-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 郭世波;朱承達(dá);陳慶友;劉靜;孫緯偉 | 申請（專利權(quán)）人： | 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/00 | 分類號： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 氣動 裝置 真空 檢測 設(shè)備 | ||
1.一種氣動裝置，其特征在于，包括第一導(dǎo)軌，所述第一導(dǎo)軌上設(shè)有可滑動的第二導(dǎo)軌，所述第二導(dǎo)軌上設(shè)有可滑動的第一平臺，所述第一平臺上通過氣缸連接有第二平臺；
所述第一導(dǎo)軌與所述第二導(dǎo)軌之間沿所述第一導(dǎo)軌的方向連接有可伸縮的第一氣管，且所述第一導(dǎo)軌設(shè)有連通所述第一氣管和氣源裝置的第一管道；
所述第二導(dǎo)軌與所述第一平臺之間沿所述第二導(dǎo)軌的方向連接有可伸縮的第二氣管，且所述第二導(dǎo)軌設(shè)有連通所述第一氣管和所述第二氣管的第二管道，所述第二氣管與所述氣缸的進(jìn)氣端的連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動裝置，其特征在于，所述可伸縮的第一氣管和/或所述可伸縮的第二氣管為金屬波紋管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的氣動裝置，其特征在于，所述第一導(dǎo)軌和所述第二導(dǎo)軌分別通過第一連接法蘭連接所述第一氣管；
所述第二導(dǎo)軌和所述第一平臺分別通過第二連接法蘭連接所述第二氣管。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣動裝置，其特征在于，所述第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌與所述第一氣管的接觸面上分別設(shè)有第一密封片。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣動裝置，其特征在于，所述第二導(dǎo)軌和第一平臺與所述第二氣管的接觸面上分別設(shè)有第二密封片。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動裝置，其特征在于，所述第一管道安裝在所述第一導(dǎo)軌的內(nèi)部；
所述第二管道安裝在所述第二導(dǎo)軌的內(nèi)部。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動裝置，其特征在于，所述第一管道一體成型于所述第一導(dǎo)軌的內(nèi)部；
所述第二管道一體成型于所述第二導(dǎo)軌的內(nèi)部。
8.一種真空檢測設(shè)備，所述真空檢測設(shè)備包括真空腔室，其特征在于，所述真空腔室內(nèi)設(shè)置有權(quán)利要求1至7任一項所述的氣動裝置。
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