[實用新型]一種氣動裝置及真空檢測設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220420493.0
• 申請日: 2012-08-22
• 公開（公告）號: CN202735443U
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郭世波;朱承達;陳慶友;劉靜;孫緯偉
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00
• 代理公司: 北京中博世達專利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及可提供動力的氣動裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種氣動裝置及真空檢測設(shè)備。

背景技術(shù)

液晶顯示面板是由陣列基板和彩膜基板對盒后填充液晶而形成，其中陣列基板是單獨制作而成，通常在制作完陣列基板后，為了檢測陣列基板的一些性能是否符合要求，還需要利用真空檢測設(shè)備對陣列基板進行檢測。

真空檢測設(shè)備包括真空腔室，真空腔室的內(nèi)部設(shè)有放置陣列基板的上平臺，上平臺通過運動機構(gòu)的動作可以在真空腔室內(nèi)分別沿X、Y、Z這三個互相垂直的方向運動，其中，沿X、Y方向的運動為平面運動，且通過運動機構(gòu)中的電機來驅(qū)動運動機構(gòu)的水平運動；沿Z方向的運動為上下運動，且通過運動機構(gòu)中的氣缸來驅(qū)動運動機構(gòu)的上下運動，供給氣缸運動的氣源裝置通過軟管將氣體輸送到氣缸內(nèi)部，由于氣源裝置位于真空腔室的下部，因此軟管從真空腔室的下部經(jīng)過較長的距離與氣缸連接，當(dāng)運動機構(gòu)進行平面運動時(X方向或Y方向)軟管會隨之產(chǎn)生比較復(fù)雜的空間運動，如軟管會產(chǎn)生扭曲、折疊、擠壓、拉長等破壞性動作，這樣可使得軟管比較容易磨損、折裂等損害，不利于氣體的正常輸送，而且還可能發(fā)生漏氣，破壞真空腔室內(nèi)的真空環(huán)境，從而影響真空檢測設(shè)備檢測的準(zhǔn)確性。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的實施例提供一種氣動裝置及真空檢測設(shè)備，能夠保證真空檢測設(shè)備檢測的準(zhǔn)確性。

為達到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術(shù)方案：

一種氣動裝置，包括第一導(dǎo)軌，所述第一導(dǎo)軌上設(shè)有可滑動的第二導(dǎo)軌，所述第二導(dǎo)軌上設(shè)有可滑動的第一平臺，所述第一平臺上通過氣缸連接有第二平臺，其中，所述第一導(dǎo)軌與所述第二導(dǎo)軌之間沿所述第一導(dǎo)軌的方向連接有可伸縮的第一氣管，且所述第一導(dǎo)軌設(shè)有連通所述第一氣管和氣源裝置的第一管道；

所述第二導(dǎo)軌與所述第一平臺之間沿所述第二導(dǎo)軌的方向連接有可伸縮的第二氣管，且所述第二導(dǎo)軌設(shè)有連通所述第一氣管和所述第二氣管的第二管道，所述第二氣管與所述氣缸的進氣端的連通。

優(yōu)選地，所述可伸縮的第一氣管和/或所述可伸縮的第二氣管為金屬波紋管。

優(yōu)選地，所述第一導(dǎo)軌和所述第二導(dǎo)軌分別通過第一連接法蘭連接所述第一氣管；所述第二導(dǎo)軌和所述第一平臺分別通過第二連接法蘭連接所述第二氣管。

進一步地，所述第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌與所述第一氣管的接觸面上分別設(shè)有第一密封片。

進一步地，所述第二導(dǎo)軌和第一平臺與所述第二氣管的接觸面上分別設(shè)有第二密封片。

此外，所述第一管道可以安裝在所述第一導(dǎo)軌的內(nèi)部；所述第二管道可以安裝在所述第二導(dǎo)軌的內(nèi)部。

所述第一管道還可以一體成型于所述第一導(dǎo)軌的內(nèi)部；所述第二管道也可以一體成型于所述第二導(dǎo)軌的內(nèi)部。

本實用新型還提供了一種真空檢測設(shè)備，所述真空檢測設(shè)備包括真空腔室，所述真空腔室內(nèi)設(shè)置有上述的氣動裝置。

本實用新型實施例提供的真空檢測設(shè)備的氣動裝置，其中所述氣動裝置中的所述第一導(dǎo)軌與所述第二導(dǎo)軌之間沿所述第一導(dǎo)軌的方向連接有可伸縮的第一氣管，且所述第一導(dǎo)軌設(shè)有連通所述第一氣管和氣源裝置的第一管道；所述第二導(dǎo)軌與所述第一平臺之間沿所述第二導(dǎo)軌的方向連接有可伸縮的第二氣管，且所述第二導(dǎo)軌設(shè)有連通所述第一氣管和所述第二氣管的第二管道，所述第二氣管與所述氣缸的進氣端的連通，這樣氣源裝置中的氣體傳送到氣缸進氣端的路徑依次為第一管道、第一氣管、第二管道以及第二氣管，進而可以實現(xiàn)氣缸的運動，并可以帶動第二平臺上下運動。

進一步地，當(dāng)?shù)诙?dǎo)軌沿第一導(dǎo)軌滑動時，第一氣管可隨第二導(dǎo)軌沿第一導(dǎo)軌的方向伸長或壓縮，同理，第一平臺沿第二導(dǎo)軌滑動時，第二氣管可隨第一平臺沿第二導(dǎo)軌的方向伸長或壓縮，因此這種可伸縮的第一氣管和第二氣管在第二導(dǎo)軌或第一平臺水平運動時不易發(fā)生磨損或折裂等，可以使輸送氣體的裝置不易破壞，進而使得氣體不易發(fā)生泄漏，從而可以較好地避免真空腔室內(nèi)真空環(huán)境被破壞，保證真空檢測設(shè)備檢測的準(zhǔn)確性。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用型新實施例真空檢測設(shè)備的氣動裝置的示意圖；

圖2為本實用型新實施例真空檢測設(shè)備的氣動裝置中第一導(dǎo)軌與第二導(dǎo)軌之間連接第一氣管的示意圖；

圖3為圖2中A-A的剖視示意圖；