[實用新型]一種高純度硅片有效
| 申請號： | 201220414958.1 | 申請日： | 2012-08-21 |
| 公開（公告）號： | CN202786508U | 公開（公告）日： | 2013-03-13 |
| 發明（設計）人： | 夏學軍 | 申請（專利權）人： | 云南三奇光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/06 | 分類號： | C30B29/06;H01L21/18 |
| 代理公司： | 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 鄭自群 |
| 地址： | 675800 云南省*** | 國省代碼： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 純度 硅片 | ||
【權利要求書】：
1.一種高純度硅片，包括硅片本體，其特征在于，所述硅片本體為單晶硅片或多晶硅片，該硅片本體為四個頂角均為直角的長方形結構。
2.如權利要求1所述的一種高純度硅片，其特征在于，所述硅片本體采用4.5英寸×3.5英寸的長方形結構設置。
3.如權利要求1所述的一種高純度硅片，其特征在于，所述硅片本體采用3.5英寸×5英寸的長方形結構設置。
4.如權利要求1所述的一種高純度硅片，其特征在于，所述硅片本體采用6英寸×4英寸的長方形結構設置。
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