[實用新型]定點切割機的晶圓樣品制備模板裝置

有效

• 申請號: 201220404877.3
• 申請日: 2012-08-15
• 公開（公告）號: CN202793872U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 范春燕;虞勤琴;韓耀梅
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01N1/28
• 分類號: G01N1/28
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種定點切割機的晶圓樣品制備模板裝置，其特征在于，包括：

校準部件，具有至少一直線；

定位部件，所述定位部件為條形，寬度大于等于10mm，長度大于等于20mm，所述定位部件與所述校準部件相連接，所述定位部件與所述校準部件的至少一直線之間具有夾角；

標記，所述標記包括用于第一方向定位的第一標記、第二標記及用于第二方向定位的第三標記和第四標記，所述第一標記、第二標記、第三標記和第四標記均位于所述定位部件上，所述第一標記與第二標記的第一方向的距離為18mm～22mm，所述第三標記與第四標記的第二方向的距離為8mm～12mm，所述第一方向為所述定位部件的長度方向，所述第二方向為所述定位部件的寬度方向；以及

樣品孔，用于確定目標位置，所述樣品孔位于所述定位部件上，所述樣品孔中心的第一方向位置位于所述第一標記與第二標記的第一方向的距離的二分之一處。

2.如權利要求1所述的定點切割機的晶圓樣品制備模板裝置，其特征在于，所述校準部件包括至少一條形主體，所述直線為所述條形主體的一邊。

3.如權利要求2所述的定點切割機的晶圓樣品制備模板裝置，其特征在于，所述條形主體與定位部件固定連接。

4.如權利要求3所述的定點切割機的晶圓樣品制備模板裝置，其特征在于，所述定位部件與所述條形主體的條形邊長之間的夾角為30°～60°。

5.如權利要求3所述的定點切割機的晶圓樣品制備模板裝置，其特征在于，所述條形主體的寬度為5mm～20mm，長度為20mm～400mm。

6.如權利要求2所述的定點切割機的晶圓樣品制備模板裝置，其特征在于，所述校準部件還包括用于測量所述定位部件與所述條形主體之間的夾角的測量部件，所述測量部件與所述條形主體相連。

7.如權利要求6所述的定點切割機的晶圓樣品制備模板裝置，其特征在于，所述條形主體與定位部件旋轉連接。

8.如權利要求6所述的定點切割機的晶圓樣品制備模板裝置，其特征在于，所述定位部件與所述條形主體的夾角為0°～90°可調。

9.如權利要求1-8中任意一項所述的定點切割機的晶圓樣品制備模板裝置，其特征在于，所述樣品孔的直徑小于等于3mm。

10.如權利要求1-8中任意一項所述的定點切割機的晶圓樣品制備模板裝置，其特征在于，所述定位部件的長度為20mm～400mm。

11.如權利要求1-8中任意一項所述的定點切割機的晶圓樣品制備模板裝置，其特征在于，所述樣品孔中心的第二方向位置位于所述第三標記與第四標記的第二方向的距離的二分之一處。

12.如權利要求1-8中任意一項所述的定點切割機的晶圓樣品制備模板裝置，其特征在于，所述樣品孔的第二方向位置與所述第三標記或第四標記的第二方向的距離為零。