[實用新型]石墨舟片

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220404164.7
• 申請日: 2012-08-15
• 公開（公告）號: CN202796887U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳建洪
• 申請（專利權(quán)）人: 常州市立新石墨有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32231
• 代理人: 金輝

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種石墨舟片。

背景技術(shù)

太陽能硅片的生產(chǎn)加工中有一道程序叫做PECVD鍍膜，其作用是提高硅片的太陽能轉(zhuǎn)化率。這個工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，經(jīng)過一定的條件產(chǎn)生化學反映，在硅片表面鍍上一層膜。

石墨舟作為太陽能電池片鍍減反射膜時的一種載體,其結(jié)構(gòu)和大小直接影響硅片的轉(zhuǎn)換效率和生產(chǎn)效率，現(xiàn)有石墨舟包括：石墨舟片、陶瓷套、陶瓷桿、石墨桿、石墨隔塊等石墨配件。其工作原理為：將未鍍膜的硅片放在石墨舟片的卡點上，每個舟片上可放固定數(shù)量的硅片，然后，將石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設(shè)備的墻體內(nèi)，采用PECVD工藝進行放電鍍膜。鍍膜結(jié)束后，取出石墨舟，將硅片從石墨舟上卸取下來。

石墨舟片是組成石墨舟的重要組成部分，是用于固定鍍膜硅片的裝置。實際工藝中硅片插在石墨舟片上，完成鍍膜工藝。

現(xiàn)有的石墨舟舟片的硅片定位腔為一個個穿孔，是將石墨片挖空形成的，這樣的石墨舟片由于硅片與石墨舟片之間的空隙，存在硅片固定不緊的問題，?

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是解決上述不足，提供一種能夠使硅片的鍍膜均勻、太陽能轉(zhuǎn)化效率高的石墨舟片。

實現(xiàn)本實用新型目的技術(shù)方案是：一種石墨舟片，包括石墨舟片本體、位于石墨舟片本體中部的硅片定位腔體，固定在每個硅片定位腔體的周邊石墨舟工藝釘，所述硅片定位腔的橫截面為字母I型。

上述石墨舟片，所述硅片定位腔為石墨舟片本體表面的凹腔。

上述石墨舟片，所述硅片定位腔在石墨舟片本體正反表面均設(shè)有，其為深度為占石墨舟片本體厚度1/5的不貫穿石墨舟本體的凹腔。

上述石墨舟片，所述硅片定位腔在石墨舟片本體正反表面均設(shè)有，其為深度為0.5毫米的不貫穿石墨舟本體的凹腔。

上述石墨舟片，所述石墨舟片本體單面有硅片定位腔7~13個。

上述石墨舟片，所述硅片定位腔水平中心線與水平面形成5~10度的夾角。

上述石墨舟片，所述石墨舟工藝釘設(shè)置在每個石墨舟本體的凹腔周邊，每個凹腔周邊有3個石墨舟工藝釘。

上述石墨舟片，石墨舟本體的正反面均開有聯(lián)通硅片定位腔體的凹槽。

本實用新型具有積極的效果：（1）結(jié)構(gòu)簡單；（2）在石墨舟片上開設(shè)硅片定位腔體，并在石墨舟片上開槽，硅片鍍膜過程中抽真空，使得硅片更加緊密的固定在石墨舟片上；（3）硅片定位腔體與成5~10度的角度，便于硅片的更好的安裝和抽取。

附圖說明

為了使本實用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實施例并結(jié)合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：1石墨舟片本體，2硅片定位腔體，3石墨舟工藝釘，4槽。

具體實施方式

實施例（1）

見圖1，本實用新型具有石墨舟片本體1、位于石墨舟片本體1中部的硅片定位腔體2，固定在每個硅片定位腔體2的周邊石墨舟工藝釘3，所述硅片定位腔體2的橫截面為字母I型，在石墨舟片本體1正反表面均設(shè)有硅片定位腔體2，其為深度為占石墨舟片本體1厚度1/5的不貫穿石墨舟本體1的凹腔，石墨舟片本體厚度2.5毫米，硅片定位腔體深度0.5毫米，整個硅片定位腔體為正方形，數(shù)量為正反面各7個。硅片定位腔體2水平中心線與水平面形成5度的夾角；石墨舟工藝釘3設(shè)置在每個石墨舟本體1的凹腔周邊，每個凹腔周邊有3個石墨舟工藝釘3；石墨舟本體1的正反面均開有聯(lián)通硅片定位腔體2的槽4。

以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。