[實用新型]一種PECVD電極板有效

申請號：	201220387741.6	申請日：	2012-08-07
公開（公告）號：	CN202786424U	公開（公告）日：	2013-03-13
發明（設計）人：	王勇;薛棋;符政寬	申請（專利權）人：	江蘇武進漢能光伏有限公司
主分類號：	C23C16/50	分類號：	C23C16/50
代理公司：	常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231	代理人：	徐琳淞
地址：	213000 江蘇省常州***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種 pecvd 極板
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【權利要求書】：

1.一種PECVD電極板，具有電纜（1）、接入點（2）和基板（3）；所述接入點（2）固定設置在基板（3）的上邊緣或者下邊緣的中心；所述電纜（1）通過接入點（2）連接到基板（3）上；其特征在于：所述基板（3）上開有絕緣槽（4）；所述絕緣槽（4）與基板（3）的上下邊緣平行。

2.根據權利要求1所述的PECVD電極板，其特征在于：所述絕緣槽（4）具有一個第一絕緣槽（41）和三個設置在第一絕緣槽（41）下方或上方的第二絕緣槽（42）；所述第一絕緣槽（41）的中心對應接入點（2）設置；所述三個第二絕緣槽（42）水平設置在一直線上，且三個第二絕緣槽（42）的中心分別對應第一絕緣槽（41）的左端點、中點和右端點設置。

3.根據權利要求1所述的PECVD電極板，其特征在于：所述各個絕緣槽（4）呈矩形。

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