[實用新型]一種PECVD電極板

有效

• 申請號: 201220387741.6
• 申請日: 2012-08-07
• 公開（公告）號: CN202786424U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 王勇;薛棋;符政寬
• 申請（專利權）人: 江蘇武進漢能光伏有限公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 徐琳淞

技術領域

本實用新型涉及一種電極板，特別涉及一種PECVD電極板。

背景技術

等離子體增強化學氣相沉積（?PECVD）是鍍膜行業的常用設備，鍍膜均勻性是鍍膜效果的一個重要性能指標，鍍膜時的電場均勻性直接影響著鍍膜均勻性，電場的均勻性和射頻（RF）或甚高頻（VHF）的接入點有關。一般的接入方式如圖1所示，只有一個接入點。為了增加電場的均勻性一般采用圖2或圖3的接入方式增加接入點個數或增加接入點面積，這樣的接入方式要考慮不同接入點的電纜長度或接入點大面積連接等方面的因素，增加了接入的難度。

實用新型內容

本實用新型的目的是克服了現有技術存在的缺陷，提供一種電場分布均勻且安裝簡便的PECVD電極板。

實現本實用新型目的的技術方案是：一種PECVD電極板，具有電纜、接入點和基板；所述接入點固定設置在基板的上邊緣或下邊緣的中心；所述電纜通過接入點連接到基板上；所述基板上開有絕緣槽；所述絕緣槽與基板的上下邊緣平行。

上述技術方案所述絕緣槽具有一個第一絕緣槽和三個設置在第一絕緣槽下方或上方的第二絕緣槽；所述第一絕緣槽的中心對應接入點設置；所述三個第二絕緣槽水平設置在一直線上，且三個第二絕緣槽的中心分別對應第一絕緣槽的左端點、中點和右端點設置。

上述技術方案所述各個絕緣槽呈矩形。

本實用新型具有積極的效果：

本實用新型簡化了射頻（RF）或甚高頻（VHF）的接入方式；通過在基板上開絕緣槽，改變流入基板的電流流向，使得基板上的電流分布較為均勻，從而提高在鍍膜作業時待鍍基板的鍍膜均勻性，提升鍍膜質量，有效地降低成本與品管成本，提升產品的市場競爭力。

附圖說明

為了使本實用新型的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中

圖1為一個接入點的接入方式示意圖；

圖2為增加接入點面積的接入方式示意圖；

圖3為增加接入點個數的接入方式示意圖；

圖4為本實用新型的結構示意圖；

圖中1.電纜，2.接入點，3.基板，4.絕緣槽，41.第一絕緣槽，42.第二絕緣槽。

具體實施方式

（實施例1）

見圖4，本實用新型具有電纜1、接入點2和基板3；接入點2固定設置在基板3的上邊緣的中心；電纜1通過接入點2連接到基板3上；基板3上開有絕緣槽4；絕緣槽4與基板3的上下邊緣平行。

絕緣槽4具有一個第一絕緣槽41和三個設置在第一絕緣槽41下方的第二絕緣槽42；第一絕緣槽41的中心對應接入點2設置；三個第二絕緣槽42水平設置在一直線上，且三個第二絕緣槽42的中心分別對應第一絕緣槽41的左端點、中點和右端點設置；各個絕緣槽4呈矩形。

（實施例2）

見圖5，本實用新型具有電纜1、接入點2和基板3；接入點2固定設置在基板3的下邊緣的中心；電纜1通過接入點2連接到基板3上；基板3上開有絕緣槽4；絕緣槽4與基板3的上下邊緣平行。

絕緣槽4具有一個第一絕緣槽41和三個設置在第一絕緣槽41上方的第二絕緣槽42；第一絕緣槽41的中心對應接入點2設置；三個第二絕緣槽42水平設置在一直線上，且三個第二絕緣槽42的中心分別對應第一絕緣槽41的左端點、中點和右端點設置；各個絕緣槽4呈矩形。

以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。