[實用新型]光刻機的預對準機構

有效

• 申請號: 201220384644.1
• 申請日: 2012-08-03
• 公開（公告）號: CN202815412U
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發明（設計）人: 宣胤杰
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00;G03F7/20
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種光刻機的預對準機構，設置在所述光刻機中用于對邊緣具有缺口或平邊的晶圓進行預對準作業的預對準平臺上，其特征在于，所述預對準機構至少包括：

旋轉臺，設置在所述預對準平臺上，包括具有一平整臺面的旋轉本體、以及穿設于所述旋轉本體的第一抽氣通孔；

真空吸盤，固定于所述旋轉臺上，包括具有上、下平整表面的塑料本體、以及穿設于所述塑料本體且對應所述第一抽氣通孔的第二抽氣通孔，所述塑料本體的下表面貼合于所述旋轉本體的平整臺面上，所述塑料本體的上表面開設有多個連通所述第二抽氣通孔的溝槽；以及

光學組件，包括設置在所述真空吸盤上側的光源發射端、以及設置在所述光源發射端的光源傳播路徑上且位于所述真空吸盤下側的光源接收端，所述光源接收端透過所述真空吸盤上晶圓邊緣的缺口或平邊感測到所述光源發射端發射的光線后使所述旋轉臺停止旋轉以預對準所述晶圓。

2.根據權利要求1所述的光刻機的預對準機構，其特征在于：還包括設置在所述預對準平臺一側的機械手，夾持并移動所述晶圓將其放置于或移離所述真空吸盤。

3.根據權利要求1所述的光刻機的預對準機構，其特征在于：所述塑料本體為聚醚醚酮材質。

4.根據權利要求1所述的光刻機的預對準機構，其特征在于：所述光源發射端為LED光源；所述光源接收端為CCD傳感器。

5.根據權利要求1所述的光刻機的預對準機構，其特征在于：所述旋轉臺還包括開設于所述平整臺面上且具有內螺紋的盲孔。

6.根據權利要求5所述的光刻機的預對準機構，其特征在于：所述真空吸盤還包括穿設于所述塑料本體且對應所述盲孔的沉孔。

7.根據權利要求6所述的光刻機的預對準機構，其特征在于：所述真空吸盤與旋轉臺通過穿設于所述沉孔并旋緊于所述盲孔中的緊固件固定。

8.根據權利要求1所述的光刻機的預對準機構，其特征在于：所述第一抽氣通孔藉由一導管連通一抽真空裝置。

9.根據權利要求1所述的光刻機的預對準機構，其特征在于：所述溝槽包括環繞所述第二抽氣通孔的多個環形溝槽、及連通各該環形溝槽和所述第二抽氣通孔的十字溝槽。

10.根據權利要求1所述的光刻機的預對準機構，其特征在于：所述第二抽氣通孔位于所述塑料本體的中心；所述第一抽氣通孔位于所述旋轉本體的中心。