[實用新型]石墨舟及其石墨舟片有效
| 申請號: | 201220380885.9 | 申請日: | 2012-08-02 |
| 公開(公告)號: | CN202695404U | 公開(公告)日: | 2013-01-23 |
| 發明(設計)人: | 黃應斌 | 申請(專利權)人: | 深圳市石金科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287 | 代理人: | 胡海國 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 石墨 及其 | ||
技術領域
本實用新型涉及硅片生產技術領域,尤其涉及一種石墨舟及其石墨舟片。
背景技術
石墨舟是給太陽能電池片中的硅片鍍膜的載體。目前,石墨舟均包括間隔設置的若干第一石墨舟片、第二石墨舟片、陶瓷套、陶瓷桿、石墨桿、石墨螺母、第一連接塊和第二連接塊;第一石墨舟片的結構和第二石墨舟片的結構相同,第一石墨舟片一端的下部和中部分別設置有第一接線凸耳,第二石墨舟片另一端的下部和中部分別設置有第二接線凸耳;陶瓷套設置在第一石墨舟片和第二石墨舟片之間,再通過陶瓷桿穿過若干第一石墨舟片、第二石墨舟片和陶瓷套與石墨螺母配合將若干第一石墨舟片、第二石墨舟片和陶瓷套固定;第一連接塊設置在相鄰兩第一接線凸耳之間,再通過陶瓷桿、石墨桿穿過若干第一接線凸耳和第一連接塊與石墨螺母配合將若干第一石墨舟片和第一連接塊固定;第二連接塊設置在相鄰兩第二接線凸耳之間,再通過陶瓷桿、石墨桿穿過若干第二接線凸耳和第二連接塊與石墨螺母配合將若干第二石墨舟片和第二連接塊固定。
現有技術中這種石墨舟存在的不足是:第一石墨舟片和第二石墨舟片上分別設置有上下兩個連線凸耳,所以其本身較重,進而導致石墨舟在加工硅片時反應速度慢,鍍膜完和烘干后石墨舟的散熱能力弱,冷卻速度慢,使得加工時間長,生產效率低。
發明內容
本實用新型的主要目的是提供一種石墨舟,旨在降低石墨舟的重量,達到提高生產效率的目的。
本實用新型實施例提供了一種石墨舟,包括石墨舟片和連接塊,所述石墨舟片包括間隔設置的若干第一石墨舟片和若干第二石墨舟片,所述第一石墨舟片的一端設置有第一接線凸耳,所述第二石墨舟片的一端設置有第二接線凸耳,所述連接塊包括設置在相鄰兩所述第一接線凸耳之間的第一連接塊及設置在相鄰兩所述第二接線凸耳之間的第二連接塊。
優選地,所述第一接線凸耳設置在所述第一石墨舟片一端的下部,所述第二接線凸耳設置在所述第二石墨舟片一端的下部,所述第一接線凸耳和第二接線凸耳分別位于所述石墨舟的兩端。
優選地,所述第一連接塊和第二連接塊上均開設有減重的開口。
優選地,所述石墨舟片的數量為21~41片。
優選地,所述第一連接塊包括若干第一石墨墊塊、第一電極頭和兩第一支撐腳,所述兩第一支撐腳分別位于所述第一連接塊的兩端部,所述第一電極頭位于所述第一連接塊的中部;所述第二連接塊包括若干第二石墨墊塊、第二電極頭和兩第二支撐腳,所述兩第二支撐腳分別位于所述第二連接塊的兩端部,所述第二電極頭位于所述第二連接塊的中部。
優選地,所述第一支撐腳和第二支撐腳底部設有與外部運轉小車上固定柱配合的圓弧形凹槽。
優選地,設置在所述石墨舟外側的兩第一石墨舟片或兩第二石墨舟片的中部設置有電子探溫感應器。
本實用新型實施例還提供了一種石墨舟片,所述石墨舟片的一端設置有接線凸耳。
優選地,所述接線凸耳設置在所述石墨舟片一端的下部。
本實用新型通過在第一石墨舟片的一端設置有第一接線凸耳,第二石墨舟片的一端設置有第二接線凸耳,相對現有技術中的石墨舟,本實用新型的每塊第一石墨舟片都減少了一個第一接線凸耳,每塊第二石墨舟片都減少了一個第二接線凸耳,所以本實用新型石墨舟的重量減輕了,進而加快了石墨舟在加工硅片時的反應速度,增強了鍍膜完和烘干后石墨舟的散熱能力,提高了冷卻速度,縮短了加工時間,提高了生產效率。
附圖說明
圖1為本實用新型石墨舟片優選實施例的結構示意圖;
圖2為本實用新型石墨舟優選實施例的結構示意圖;
圖3為圖2中第一石墨墊塊的結構示意圖;
圖4為圖2中第一電極頭的結構示意圖;
圖5為圖2中第一支撐腳的結構示意圖。
本實用新型目的的實現、功能特點及優點將結合實施例,參照附圖做進一步說明。
具體實施方式
應當理解,此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。
本實用新型提供了一種石墨舟片,參照圖1,圖1為本實用新型石墨舟片優選實施例的結構示意圖。本實用新型石墨舟片1上設有接線凸耳11和若干用于裝載硅片的硅片位12,其中接線凸耳11設置在石墨舟片1的一端,硅片位12均布設置在石墨舟片1上。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
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