[實(shí)用新型]石墨舟及其石墨舟片

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220380885.9
• 申請(qǐng)日: 2012-08-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202695404U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃應(yīng)斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市石金科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 深圳市世紀(jì)恒程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44287
• 代理人: 胡海國(guó)

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種石墨舟及其石墨舟片。

背景技術(shù)

石墨舟是給太陽(yáng)能電池片中的硅片鍍膜的載體。目前，石墨舟均包括間隔設(shè)置的若干第一石墨舟片、第二石墨舟片、陶瓷套、陶瓷桿、石墨桿、石墨螺母、第一連接塊和第二連接塊；第一石墨舟片的結(jié)構(gòu)和第二石墨舟片的結(jié)構(gòu)相同，第一石墨舟片一端的下部和中部分別設(shè)置有第一接線凸耳，第二石墨舟片另一端的下部和中部分別設(shè)置有第二接線凸耳；陶瓷套設(shè)置在第一石墨舟片和第二石墨舟片之間，再通過(guò)陶瓷桿穿過(guò)若干第一石墨舟片、第二石墨舟片和陶瓷套與石墨螺母配合將若干第一石墨舟片、第二石墨舟片和陶瓷套固定；第一連接塊設(shè)置在相鄰兩第一接線凸耳之間，再通過(guò)陶瓷桿、石墨桿穿過(guò)若干第一接線凸耳和第一連接塊與石墨螺母配合將若干第一石墨舟片和第一連接塊固定；第二連接塊設(shè)置在相鄰兩第二接線凸耳之間，再通過(guò)陶瓷桿、石墨桿穿過(guò)若干第二接線凸耳和第二連接塊與石墨螺母配合將若干第二石墨舟片和第二連接塊固定。

現(xiàn)有技術(shù)中這種石墨舟存在的不足是：第一石墨舟片和第二石墨舟片上分別設(shè)置有上下兩個(gè)連線凸耳，所以其本身較重，進(jìn)而導(dǎo)致石墨舟在加工硅片時(shí)反應(yīng)速度慢，鍍膜完和烘干后石墨舟的散熱能力弱，冷卻速度慢，使得加工時(shí)間長(zhǎng)，生產(chǎn)效率低。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的主要目的是提供一種石墨舟，旨在降低石墨舟的重量，達(dá)到提高生產(chǎn)效率的目的。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種石墨舟，包括石墨舟片和連接塊，所述石墨舟片包括間隔設(shè)置的若干第一石墨舟片和若干第二石墨舟片，所述第一石墨舟片的一端設(shè)置有第一接線凸耳，所述第二石墨舟片的一端設(shè)置有第二接線凸耳，所述連接塊包括設(shè)置在相鄰兩所述第一接線凸耳之間的第一連接塊及設(shè)置在相鄰兩所述第二接線凸耳之間的第二連接塊。

優(yōu)選地，所述第一接線凸耳設(shè)置在所述第一石墨舟片一端的下部，所述第二接線凸耳設(shè)置在所述第二石墨舟片一端的下部，所述第一接線凸耳和第二接線凸耳分別位于所述石墨舟的兩端。

優(yōu)選地，所述第一連接塊和第二連接塊上均開(kāi)設(shè)有減重的開(kāi)口。

優(yōu)選地，所述石墨舟片的數(shù)量為21~41片。

優(yōu)選地，所述第一連接塊包括若干第一石墨墊塊、第一電極頭和兩第一支撐腳，所述兩第一支撐腳分別位于所述第一連接塊的兩端部，所述第一電極頭位于所述第一連接塊的中部；所述第二連接塊包括若干第二石墨墊塊、第二電極頭和兩第二支撐腳，所述兩第二支撐腳分別位于所述第二連接塊的兩端部，所述第二電極頭位于所述第二連接塊的中部。

優(yōu)選地，所述第一支撐腳和第二支撐腳底部設(shè)有與外部運(yùn)轉(zhuǎn)小車上固定柱配合的圓弧形凹槽。

優(yōu)選地，設(shè)置在所述石墨舟外側(cè)的兩第一石墨舟片或兩第二石墨舟片的中部設(shè)置有電子探溫感應(yīng)器。

本實(shí)用新型實(shí)施例還提供了一種石墨舟片，所述石墨舟片的一端設(shè)置有接線凸耳。

優(yōu)選地，所述接線凸耳設(shè)置在所述石墨舟片一端的下部。

本實(shí)用新型通過(guò)在第一石墨舟片的一端設(shè)置有第一接線凸耳，第二石墨舟片的一端設(shè)置有第二接線凸耳，相對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的石墨舟，本實(shí)用新型的每塊第一石墨舟片都減少了一個(gè)第一接線凸耳，每塊第二石墨舟片都減少了一個(gè)第二接線凸耳，所以本實(shí)用新型石墨舟的重量減輕了，進(jìn)而加快了石墨舟在加工硅片時(shí)的反應(yīng)速度，增強(qiáng)了鍍膜完和烘干后石墨舟的散熱能力，提高了冷卻速度，縮短了加工時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型石墨舟片優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型石墨舟優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖2中第一石墨墊塊的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為圖2中第一電極頭的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為圖2中第一支撐腳的結(jié)構(gòu)示意圖。

本實(shí)用新型目的的實(shí)現(xiàn)、功能特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)將結(jié)合實(shí)施例，參照附圖做進(jìn)一步說(shuō)明。

具體實(shí)施方式

應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。

本實(shí)用新型提供了一種石墨舟片，參照?qǐng)D1，圖1為本實(shí)用新型石墨舟片優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型石墨舟片1上設(shè)有接線凸耳11和若干用于裝載硅片的硅片位12，其中接線凸耳11設(shè)置在石墨舟片1的一端，硅片位12均布設(shè)置在石墨舟片1上。