[實用新型]石墨舟及其石墨舟片有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220380885.9 | 申請日: | 2012-08-02 |
| 公開(公告)號: | CN202695404U | 公開(公告)日: | 2013-01-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 黃應(yīng)斌 | 申請(專利權(quán))人: | 深圳市石金科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 深圳市世紀(jì)恒程知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44287 | 代理人: | 胡海國 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 石墨 及其 | ||
1.一種石墨舟,包括石墨舟片和連接塊,所述石墨舟片包括間隔設(shè)置的若干第一石墨舟片和若干第二石墨舟片,其特征在于,所述第一石墨舟片的一端設(shè)置有第一接線凸耳,所述第二石墨舟片的一端設(shè)置有第二接線凸耳,所述連接塊包括設(shè)置在相鄰兩所述第一接線凸耳之間的第一連接塊及設(shè)置在相鄰兩所述第二接線凸耳之間的第二連接塊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟,其特征在于,所述第一接線凸耳設(shè)置在所述第一石墨舟片一端的下部,所述第二接線凸耳設(shè)置在所述第二石墨舟片一端的下部,所述第一接線凸耳和第二接線凸耳分別位于所述石墨舟的兩端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟,其特征在于,所述第一接線凸耳設(shè)置在所述第一石墨舟片一端的下部,所述第二接線凸耳設(shè)置在所述第二石墨舟片一端的中部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項所述的石墨舟,其特征在于,所述第一連接塊和第二連接塊上均開設(shè)有減重的開口。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的石墨舟,其特征在于,所述石墨舟片的數(shù)量為21~41片。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的石墨舟,其特征在于,所述第一連接塊包括若干第一石墨墊塊、第一電極頭和兩第一支撐腳,所述兩第一支撐腳分別位于所述第一連接塊的兩端部,所述第一電極頭位于所述第一連接塊的中部;所述第二連接塊包括若干第二石墨墊塊、第二電極頭和兩第二支撐腳,所述兩第二支撐腳分別位于所述第二連接塊的兩端部,所述第二電極頭位于所述第二連接塊的中部。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的石墨舟,其特征在于,所述第一支撐腳和第二支撐腳底部設(shè)有與外部運轉(zhuǎn)小車上固定柱配合的圓弧形凹槽。?
8.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項所述的石墨舟,設(shè)置在所述石墨舟外側(cè)的兩第一石墨舟片或兩第二石墨舟片的中部設(shè)置有電子探溫感應(yīng)器。
9.一種石墨舟片,其特征在于,所述石墨舟片的一端設(shè)置有接線凸耳。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的石墨舟片,其特征在于,所述接線凸耳設(shè)置在所述石墨舟片一端的下部。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





