[實用新型]高純氣體輸送設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220378433.7 | 申請日: | 2012-07-31 |
| 公開(公告)號: | CN202746942U | 公開(公告)日: | 2013-02-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 馬全合;張磊;石志強 | 申請(專利權(quán))人: | 無錫奧維特電子科技有限公司 |
| 主分類號: | F17D1/04 | 分類號: | F17D1/04 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 214072 江蘇省無*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 高純 氣體 輸送 設(shè)備 | ||
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型專利涉及一種氣體輸送設(shè)備,特別涉及一種氣體壓力及流量供應(yīng)穩(wěn)定的高純氣體輸送設(shè)備。
背景技術(shù):
光伏、光纖、LED、LCD及半導(dǎo)體等行業(yè)中常用到許多高純氣體,隨著行業(yè)的不斷發(fā)展,生產(chǎn)規(guī)模不斷擴(kuò)大,對于高純氣體的需求量也越來越大,但因為技術(shù)所限,目前高純氣體輸送設(shè)備常常存在供應(yīng)能力不足的問題,氣體壓力及流量不穩(wěn)定,無法保證進(jìn)行正常穩(wěn)定的生產(chǎn)。
實用新型內(nèi)容:
本實用新型專利的目的在于提供一種氣體壓力及流量供應(yīng)穩(wěn)定的高純氣體輸送設(shè)備。
為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型提出如下技術(shù)方案實現(xiàn):
高純氣體輸送設(shè)備,由氣瓶柜、VMB組成;其特征在于:氣瓶柜與VMB相連;氣瓶柜內(nèi)部設(shè)有鋼瓶、主進(jìn)氣管路A、排氣管路A、吹凈管路、G-N2抽氣管路、P-N2進(jìn)氣管路、H-N2進(jìn)氣管路、磅秤;鋼瓶設(shè)置于磅秤上,主進(jìn)氣管路A與鋼瓶連接,主進(jìn)氣管路A在進(jìn)氣方向上依次設(shè)置有高壓側(cè)壓力傳感器、高壓側(cè)主管路氣動閥、主管路調(diào)壓閥、低壓側(cè)壓力傳感器、主管路過濾器、低壓側(cè)主管路氣動閥、主進(jìn)氣管路A手動閥,主進(jìn)氣管路A在高壓側(cè)壓力傳感器與高壓側(cè)主管路氣動閥間、主管路過濾器與低壓側(cè)主管路氣動閥間分別與高壓側(cè)排氣管路、低壓側(cè)排氣管路連接,高壓側(cè)排氣管路上設(shè)有高壓側(cè)排氣管路氣動閥,低壓側(cè)排氣管路上設(shè)有低壓側(cè)排氣管路氣動閥,高壓側(cè)排氣管路、低壓側(cè)排氣管路合并為排氣管路A,排氣管路A在排氣方向上依次設(shè)有排氣管路壓力傳感器、排氣管路高壓氣動閥;排氣管路A與G-N2抽氣管路連接,G-N2抽氣管路在G-N2進(jìn)氣方向上依次設(shè)有抽氣管路氣動閥、真空產(chǎn)生器A,其中真空產(chǎn)生器A設(shè)置在排氣管路A與G-N2抽氣管路連接部位;主進(jìn)氣管路A在進(jìn)氣端與高壓側(cè)壓力傳感器之間的部位設(shè)置有吹凈管路,吹凈管路在進(jìn)氣方向上依次設(shè)有吹凈管路壓力傳感器、吹凈管路氣動閥,吹凈管路分別與P-N2進(jìn)氣管路、H-N2進(jìn)氣管路相連,并分別在連接部位設(shè)有吹凈管路低壓氣動閥、吹凈管路高壓氣動閥,P-N2進(jìn)氣管路上設(shè)有P-N2進(jìn)氣管路氣動閥;VMB內(nèi)部設(shè)有主進(jìn)氣管路B、支管路、P-N2吹凈管路、排氣管路B、EQ-N2抽氣管路;主進(jìn)氣管路B與氣瓶柜內(nèi)部的主進(jìn)氣管路A相連,主進(jìn)氣管路B在進(jìn)氣方向上依次設(shè)有主管路手動閥、主管路壓力表、主管路氣動閥、管路遮斷閥,主進(jìn)氣管路B與支管路連接,支管路在進(jìn)氣方向上依次設(shè)有支管路手動閥、高壓側(cè)支管路氣動閥、支管路調(diào)壓閥、低壓側(cè)支管路壓力傳感器、支管路過濾器、低壓側(cè)支管路手動閥;支管路在支管路手動閥與高壓側(cè)支管路氣動閥間、低壓側(cè)支管路壓力傳感器與支管路過濾器間分別與P-N2吹凈管路、排氣管路B連接;P-N2吹凈管路在進(jìn)氣方向上依次設(shè)有吹凈管路低壓手動閥、吹凈管路壓力表、吹凈管路手動閥;排氣管路B上設(shè)有排氣管路手動閥,排氣管路B與EQ-N2抽氣管路相連,EQ-N2抽氣管路在EQ-N2進(jìn)氣方向上依次設(shè)有抽氣管路手動閥、真空產(chǎn)生器B,其中真空產(chǎn)生器B設(shè)置在排氣管路B與EQ-N2抽氣管路連接部位。
本實用新型專利可解決的技術(shù)問題是:
在氣瓶柜內(nèi)部的主進(jìn)氣管路A上設(shè)置有高壓側(cè)壓力傳感器、低壓側(cè)壓力傳感器,鋼瓶設(shè)置在磅秤上,在VMB內(nèi)部的主進(jìn)氣管路B上設(shè)置有主管路壓力表,支管路上設(shè)置有低壓側(cè)支管路壓力傳感器,通過這些壓力傳感器和磅秤可以隨時監(jiān)控輸送通道內(nèi)氣體的壓力值以及鋼瓶內(nèi)的液化氣體余量,當(dāng)出現(xiàn)氣體壓力異常時可以通過主管路調(diào)壓閥以及支管路調(diào)壓閥及時調(diào)整氣體壓力,當(dāng)磅秤顯示鋼瓶內(nèi)余量不足是,能及時更換鋼瓶,保證了氣體壓力及流量的穩(wěn)定供應(yīng);VMB內(nèi)部的多條支管路提供了充足的高純氣體供應(yīng),可以滿足生產(chǎn)需要,保證了生產(chǎn)的正常進(jìn)行。
附圖說明:
圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)圖。
具體實施方式:
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