[實用新型]高純氣體輸送設備

有效

• 申請號: 201220378433.7
• 申請日: 2012-07-31
• 公開（公告）號: CN202746942U
• 公開（公告）日: 2013-02-20
• 發明（設計）人: 馬全合;張磊;石志強
• 申請（專利權）人: 無錫奧維特電子科技有限公司
• 主分類號: F17D1/04
• 分類號: F17D1/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域：

本實用新型專利涉及一種氣體輸送設備，特別涉及一種氣體壓力及流量供應穩定的高純氣體輸送設備。

背景技術：

光伏、光纖、LED、LCD及半導體等行業中常用到許多高純氣體，隨著行業的不斷發展，生產規模不斷擴大，對于高純氣體的需求量也越來越大，但因為技術所限，目前高純氣體輸送設備常常存在供應能力不足的問題，氣體壓力及流量不穩定，無法保證進行正常穩定的生產。

實用新型內容：

本實用新型專利的目的在于提供一種氣體壓力及流量供應穩定的高純氣體輸送設備。

為了實現上述目的，本實用新型提出如下技術方案實現：

高純氣體輸送設備，由氣瓶柜、VMB組成；其特征在于：氣瓶柜與VMB相連；氣瓶柜內部設有鋼瓶、主進氣管路A、排氣管路A、吹凈管路、G-N₂抽氣管路、P-N₂進氣管路、H-N₂進氣管路、磅秤；鋼瓶設置于磅秤上，主進氣管路A與鋼瓶連接，主進氣管路A在進氣方向上依次設置有高壓側壓力傳感器、高壓側主管路氣動閥、主管路調壓閥、低壓側壓力傳感器、主管路過濾器、低壓側主管路氣動閥、主進氣管路A手動閥，主進氣管路A在高壓側壓力傳感器與高壓側主管路氣動閥間、主管路過濾器與低壓側主管路氣動閥間分別與高壓側排氣管路、低壓側排氣管路連接，高壓側排氣管路上設有高壓側排氣管路氣動閥，低壓側排氣管路上設有低壓側排氣管路氣動閥，高壓側排氣管路、低壓側排氣管路合并為排氣管路A，排氣管路A在排氣方向上依次設有排氣管路壓力傳感器、排氣管路高壓氣動閥；排氣管路A與G-N₂抽氣管路連接，G-N₂抽氣管路在G-N₂進氣方向上依次設有抽氣管路氣動閥、真空產生器A，其中真空產生器A設置在排氣管路A與G-N₂抽氣管路連接部位；主進氣管路A在進氣端與高壓側壓力傳感器之間的部位設置有吹凈管路，吹凈管路在進氣方向上依次設有吹凈管路壓力傳感器、吹凈管路氣動閥，吹凈管路分別與P-N₂進氣管路、H-N₂進氣管路相連，并分別在連接部位設有吹凈管路低壓氣動閥、吹凈管路高壓氣動閥，P-N₂進氣管路上設有P-N₂進氣管路氣動閥；VMB內部設有主進氣管路B、支管路、P-N₂吹凈管路、排氣管路B、EQ-N₂抽氣管路；主進氣管路B與氣瓶柜內部的主進氣管路A相連，主進氣管路B在進氣方向上依次設有主管路手動閥、主管路壓力表、主管路氣動閥、管路遮斷閥，主進氣管路B與支管路連接，支管路在進氣方向上依次設有支管路手動閥、高壓側支管路氣動閥、支管路調壓閥、低壓側支管路壓力傳感器、支管路過濾器、低壓側支管路手動閥；支管路在支管路手動閥與高壓側支管路氣動閥間、低壓側支管路壓力傳感器與支管路過濾器間分別與P-N₂吹凈管路、排氣管路B連接；P-N₂吹凈管路在進氣方向上依次設有吹凈管路低壓手動閥、吹凈管路壓力表、吹凈管路手動閥；排氣管路B上設有排氣管路手動閥，排氣管路B與EQ-N₂抽氣管路相連，EQ-N₂抽氣管路在EQ-N₂進氣方向上依次設有抽氣管路手動閥、真空產生器B，其中真空產生器B設置在排氣管路B與EQ-N₂抽氣管路連接部位。

本實用新型專利可解決的技術問題是：

在氣瓶柜內部的主進氣管路A上設置有高壓側壓力傳感器、低壓側壓力傳感器，鋼瓶設置在磅秤上，在VMB內部的主進氣管路B上設置有主管路壓力表，支管路上設置有低壓側支管路壓力傳感器，通過這些壓力傳感器和磅秤可以隨時監控輸送通道內氣體的壓力值以及鋼瓶內的液化氣體余量，當出現氣體壓力異常時可以通過主管路調壓閥以及支管路調壓閥及時調整氣體壓力，當磅秤顯示鋼瓶內余量不足是，能及時更換鋼瓶，保證了氣體壓力及流量的穩定供應；VMB內部的多條支管路提供了充足的高純氣體供應，可以滿足生產需要，保證了生產的正常進行。

附圖說明：

圖1為本實用新型結構圖。

具體實施方式：