[實用新型]高純氣體輸送設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220378433.7
• 申請日: 2012-07-31
• 公開（公告）號: CN202746942U
• 公開（公告）日: 2013-02-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬全合;張磊;石志強
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫奧維特電子科技有限公司
• 主分類號: F17D1/04
• 分類號: F17D1/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域：

本實用新型專利涉及一種氣體輸送設(shè)備，特別涉及一種氣體壓力及流量供應(yīng)穩(wěn)定的高純氣體輸送設(shè)備。

背景技術(shù)：

光伏、光纖、LED、LCD及半導(dǎo)體等行業(yè)中常用到許多高純氣體，隨著行業(yè)的不斷發(fā)展，生產(chǎn)規(guī)模不斷擴(kuò)大，對于高純氣體的需求量也越來越大，但因為技術(shù)所限，目前高純氣體輸送設(shè)備常常存在供應(yīng)能力不足的問題，氣體壓力及流量不穩(wěn)定，無法保證進(jìn)行正常穩(wěn)定的生產(chǎn)。

實用新型內(nèi)容：

本實用新型專利的目的在于提供一種氣體壓力及流量供應(yīng)穩(wěn)定的高純氣體輸送設(shè)備。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出如下技術(shù)方案實現(xiàn)：

高純氣體輸送設(shè)備，由氣瓶柜、VMB組成；其特征在于：氣瓶柜與VMB相連；氣瓶柜內(nèi)部設(shè)有鋼瓶、主進(jìn)氣管路A、排氣管路A、吹凈管路、G-N₂抽氣管路、P-N₂進(jìn)氣管路、H-N₂進(jìn)氣管路、磅秤；鋼瓶設(shè)置于磅秤上，主進(jìn)氣管路A與鋼瓶連接，主進(jìn)氣管路A在進(jìn)氣方向上依次設(shè)置有高壓側(cè)壓力傳感器、高壓側(cè)主管路氣動閥、主管路調(diào)壓閥、低壓側(cè)壓力傳感器、主管路過濾器、低壓側(cè)主管路氣動閥、主進(jìn)氣管路A手動閥，主進(jìn)氣管路A在高壓側(cè)壓力傳感器與高壓側(cè)主管路氣動閥間、主管路過濾器與低壓側(cè)主管路氣動閥間分別與高壓側(cè)排氣管路、低壓側(cè)排氣管路連接，高壓側(cè)排氣管路上設(shè)有高壓側(cè)排氣管路氣動閥，低壓側(cè)排氣管路上設(shè)有低壓側(cè)排氣管路氣動閥，高壓側(cè)排氣管路、低壓側(cè)排氣管路合并為排氣管路A，排氣管路A在排氣方向上依次設(shè)有排氣管路壓力傳感器、排氣管路高壓氣動閥；排氣管路A與G-N₂抽氣管路連接，G-N₂抽氣管路在G-N₂進(jìn)氣方向上依次設(shè)有抽氣管路氣動閥、真空產(chǎn)生器A，其中真空產(chǎn)生器A設(shè)置在排氣管路A與G-N₂抽氣管路連接部位；主進(jìn)氣管路A在進(jìn)氣端與高壓側(cè)壓力傳感器之間的部位設(shè)置有吹凈管路，吹凈管路在進(jìn)氣方向上依次設(shè)有吹凈管路壓力傳感器、吹凈管路氣動閥，吹凈管路分別與P-N₂進(jìn)氣管路、H-N₂進(jìn)氣管路相連，并分別在連接部位設(shè)有吹凈管路低壓氣動閥、吹凈管路高壓氣動閥，P-N₂進(jìn)氣管路上設(shè)有P-N₂進(jìn)氣管路氣動閥；VMB內(nèi)部設(shè)有主進(jìn)氣管路B、支管路、P-N₂吹凈管路、排氣管路B、EQ-N₂抽氣管路；主進(jìn)氣管路B與氣瓶柜內(nèi)部的主進(jìn)氣管路A相連，主進(jìn)氣管路B在進(jìn)氣方向上依次設(shè)有主管路手動閥、主管路壓力表、主管路氣動閥、管路遮斷閥，主進(jìn)氣管路B與支管路連接，支管路在進(jìn)氣方向上依次設(shè)有支管路手動閥、高壓側(cè)支管路氣動閥、支管路調(diào)壓閥、低壓側(cè)支管路壓力傳感器、支管路過濾器、低壓側(cè)支管路手動閥；支管路在支管路手動閥與高壓側(cè)支管路氣動閥間、低壓側(cè)支管路壓力傳感器與支管路過濾器間分別與P-N₂吹凈管路、排氣管路B連接；P-N₂吹凈管路在進(jìn)氣方向上依次設(shè)有吹凈管路低壓手動閥、吹凈管路壓力表、吹凈管路手動閥；排氣管路B上設(shè)有排氣管路手動閥，排氣管路B與EQ-N₂抽氣管路相連，EQ-N₂抽氣管路在EQ-N₂進(jìn)氣方向上依次設(shè)有抽氣管路手動閥、真空產(chǎn)生器B，其中真空產(chǎn)生器B設(shè)置在排氣管路B與EQ-N₂抽氣管路連接部位。

本實用新型專利可解決的技術(shù)問題是：

在氣瓶柜內(nèi)部的主進(jìn)氣管路A上設(shè)置有高壓側(cè)壓力傳感器、低壓側(cè)壓力傳感器，鋼瓶設(shè)置在磅秤上，在VMB內(nèi)部的主進(jìn)氣管路B上設(shè)置有主管路壓力表，支管路上設(shè)置有低壓側(cè)支管路壓力傳感器，通過這些壓力傳感器和磅秤可以隨時監(jiān)控輸送通道內(nèi)氣體的壓力值以及鋼瓶內(nèi)的液化氣體余量，當(dāng)出現(xiàn)氣體壓力異常時可以通過主管路調(diào)壓閥以及支管路調(diào)壓閥及時調(diào)整氣體壓力，當(dāng)磅秤顯示鋼瓶內(nèi)余量不足是，能及時更換鋼瓶，保證了氣體壓力及流量的穩(wěn)定供應(yīng)；VMB內(nèi)部的多條支管路提供了充足的高純氣體供應(yīng)，可以滿足生產(chǎn)需要，保證了生產(chǎn)的正常進(jìn)行。

附圖說明：

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)圖。

具體實施方式：