[實(shí)用新型]高純氣體輸送設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220378433.7
• 申請(qǐng)日: 2012-07-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202746942U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-02-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬全合;張磊;石志強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無(wú)錫奧維特電子科技有限公司
• 主分類號(hào): F17D1/04
• 分類號(hào): F17D1/04
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.高純氣體輸送設(shè)備，由氣瓶柜、VMB組成；其特征在于：氣瓶柜與VMB相連；氣瓶柜內(nèi)部設(shè)有鋼瓶、主進(jìn)氣管路A、排氣管路A、吹凈管路、G-N₂抽氣管路、P-N₂進(jìn)氣管路、H-N₂進(jìn)氣管路、磅秤；鋼瓶設(shè)置于磅秤上，主進(jìn)氣管路A與鋼瓶連接，主進(jìn)氣管路A在進(jìn)氣方向上依次設(shè)置有高壓側(cè)壓力傳感器、高壓側(cè)主管路氣動(dòng)閥、主管路調(diào)壓閥、低壓側(cè)壓力傳感器、主管路過(guò)濾器、低壓側(cè)主管路氣動(dòng)閥、主進(jìn)氣管路A手動(dòng)閥，主進(jìn)氣管路A在高壓側(cè)壓力傳感器與高壓側(cè)主管路氣動(dòng)閥間、主管路過(guò)濾器與低壓側(cè)主管路氣動(dòng)閥間分別與高壓側(cè)排氣管路、低壓側(cè)排氣管路連接，高壓側(cè)排氣管路上設(shè)有高壓側(cè)排氣管路氣動(dòng)閥，低壓側(cè)排氣管路上設(shè)有低壓側(cè)排氣管路氣動(dòng)閥，高壓側(cè)排氣管路、低壓側(cè)排氣管路合并為排氣管路A，排氣管路A在排氣方向上依次設(shè)有排氣管路壓力傳感器、排氣管路高壓氣動(dòng)閥；排氣管路A與G-N₂抽氣管路連接，G-N₂抽氣管路在G-N₂進(jìn)氣方向上依次設(shè)有抽氣管路氣動(dòng)閥、真空產(chǎn)生器A，其中真空產(chǎn)生器A設(shè)置在排氣管路A與G-N₂抽氣管路連接部位；主進(jìn)氣管路A在進(jìn)氣端與高壓側(cè)壓力傳感器之間的部位設(shè)置有吹凈管路，吹凈管路在進(jìn)氣方向上依次設(shè)有吹凈管路壓力傳感器、吹凈管路氣動(dòng)閥，吹凈管路分別與P-N₂進(jìn)氣管路、H-N₂進(jìn)氣管路相連，并分別在連接部位設(shè)有吹凈管路低壓氣動(dòng)閥、吹凈管路高壓氣動(dòng)閥，P-N₂進(jìn)氣管路上設(shè)有P-N₂進(jìn)氣管路氣動(dòng)閥；VMB內(nèi)部設(shè)有主進(jìn)氣管路B、支管路、P-N₂吹凈管路、排氣管路B、EQ-N₂抽氣管路；主進(jìn)氣管路B與氣瓶柜內(nèi)部的主進(jìn)氣管路A相連，主進(jìn)氣管路B在進(jìn)氣方向上依次設(shè)有主管路手動(dòng)閥、主管路壓力表、主管路氣動(dòng)閥、管路遮斷閥，主進(jìn)氣管路B與支管路連接，支管路在進(jìn)氣方向上依次設(shè)有支管路手動(dòng)閥、高壓側(cè)支管路氣動(dòng)閥、支管路調(diào)壓閥、低壓側(cè)支管路壓力傳感器、支管路過(guò)濾器、低壓側(cè)支管路手動(dòng)閥；支管路在支管路手動(dòng)閥與高壓側(cè)支管路氣動(dòng)閥間、低壓側(cè)支管路壓力傳感器與支管路過(guò)濾器間分別與P-N₂吹凈管路、排氣管路B連接；P-N₂吹凈管路在進(jìn)氣方向上依次設(shè)有吹凈管路低壓手動(dòng)閥、吹凈管路壓力表、吹凈管路手動(dòng)閥；排氣管路B上設(shè)有排氣管路手動(dòng)閥，排氣管路B與EQ-N₂抽氣管路相連，EQ-N₂抽氣管路在EQ-N₂進(jìn)氣方向上依次設(shè)有抽氣管路手動(dòng)閥、真空產(chǎn)生器B，其中真空產(chǎn)生器B設(shè)置在排氣管路B與EQ-N₂抽氣管路連接部位。