[實(shí)用新型]多自由度可替換型電極機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220376531.7
• 申請(qǐng)日: 2012-07-31
• 公開（公告）號(hào): CN202737311U
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳進(jìn)新;王宇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院光電研究院
• 主分類號(hào): H01S3/038
• 分類號(hào): H01S3/038
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于氣體激光器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及氣體激光器的放電腔，特別是氣體激光器放電腔的電極機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

放電腔是氣體放電激光光源的核心關(guān)鍵部件。放電腔一般都包含一對(duì)放電電極，加載電壓后產(chǎn)生等離子體輻射出激光。放電腔的放電性能優(yōu)劣直接影響到激光特性；而放電電極的材料、加工及裝配精度，預(yù)電離方式等是影響放電性能的重要因素。

在放電腔的設(shè)計(jì)加工過程完成后，電極的材料、電極面型加工精度、預(yù)電離方式等都已經(jīng)確定完畢，所以怎樣將陰陽電極對(duì)準(zhǔn)裝配是確保優(yōu)良放電性能的關(guān)鍵步驟。現(xiàn)有的裝配方式要么不能多方位調(diào)整確保電極的裝配精度，要么每次都需要開腔調(diào)整，額外增加了開腔時(shí)間和開腔后氣體鈍化時(shí)間。

另外，放電腔每次放電都會(huì)消耗微量的電極材料，而且陽極的消耗量約是陰極的幾倍。達(dá)到一定放電脈沖數(shù)后，需要開腔對(duì)放電電極進(jìn)行處理或者更換，這也會(huì)增加開腔時(shí)間和開腔后氣體鈍化時(shí)間，相應(yīng)的縮短了放電腔的使用壽命。

發(fā)明內(nèi)容

(一)要解決的技術(shù)問題

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是現(xiàn)有的氣體激光器放電腔的電極機(jī)構(gòu)不易更換和調(diào)節(jié)，從而影響放電腔的使用壽命的問題。

(二)技術(shù)方案

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種電極機(jī)構(gòu)，用于向氣體激光器的放電腔提供處于電極工作位置的電極，該電極機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和安裝在該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上的多個(gè)電極，該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)用于使該多個(gè)電極的每一個(gè)移動(dòng)到所述電極工作位置。

根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)為兩個(gè)，所述多個(gè)電極中的每一個(gè)的兩端分別安裝于該兩個(gè)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上。

根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式，還包括一個(gè)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，該調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)位于所述電極工作位置的下方，用于調(diào)節(jié)處于電極工作位置的電極在垂直方向的位置和傾斜角度。

根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)為履帶式結(jié)構(gòu)，其包括主動(dòng)輪、從動(dòng)輪和圍繞所述主動(dòng)輪和從動(dòng)輪的履帶，所述多個(gè)電極安裝于所述履帶上。

根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式，所述主動(dòng)輪由一個(gè)電機(jī)驅(qū)動(dòng)。

根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式，還包括對(duì)驅(qū)動(dòng)輪和從動(dòng)輪施加一個(gè)預(yù)施力的機(jī)構(gòu)，以使驅(qū)動(dòng)輪和從動(dòng)輪具有相互背離的傾向。

根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式，所述從動(dòng)輪的軸向兩側(cè)向外各伸出一個(gè)凸部，并在每個(gè)凸部的靠近驅(qū)動(dòng)輪的一側(cè)固定一個(gè)彈簧，并使該彈簧預(yù)壓縮，以使其對(duì)所述凸部產(chǎn)生一個(gè)向著遠(yuǎn)離驅(qū)動(dòng)輪的方向的推力。

根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式，在所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上還安裝有托盤，所述電極通過該托盤安裝在所述履帶上。

根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式，所述托盤包括用于與所述電極固定連接的電極連接接口，該電極連接接口通過多個(gè)彈簧組與該托盤相連。

根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)具有兩個(gè)，分別位于兩個(gè)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上的托盤的安裝位置相互對(duì)應(yīng)，以使處于對(duì)應(yīng)位置的兩個(gè)所述托盤共同支撐多個(gè)電極中的每一個(gè)。

根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式，所述托盤的底部設(shè)置有連接接口，該連接接口用于與固定于托盤下方的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)相抵接，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)處于電極工作位置的電極在垂直方向的位置和傾斜角度。

根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式，所述連接接口為半圓柱形槽，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的頂部呈半球形。

根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式，每個(gè)托盤的底部設(shè)置兩個(gè)連接接口，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)為四個(gè)，所述四個(gè)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與位于電極工作位置的兩個(gè)托盤的連接接口相抵接，且使得四個(gè)連接接口分別對(duì)應(yīng)電極的四個(gè)角。

根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、連接器、螺母和絲杠，所述螺母和絲杠組成滾珠絲杠系統(tǒng)，所述連接器的一端與所述電機(jī)相連接，另一端與所述螺母固定。

根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式，所述連接器上開有直徑大于絲杠的直徑的導(dǎo)孔，使絲杠可以進(jìn)入連接器內(nèi)部。

(三)有益效果

本實(shí)用新型電極機(jī)構(gòu)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)相互配合，實(shí)現(xiàn)放電電極多個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng)，從而達(dá)到不打開放電腔就能調(diào)整電極的位置和角度的效果，確保氣體激光器的放電腔具有優(yōu)良的放電性能。

另外，本實(shí)用新型的電極機(jī)構(gòu)設(shè)置有多個(gè)電極，通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，可以在不打開放電腔的前提下實(shí)時(shí)更換備用電極，延長了放電腔的使用壽命。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的氣體激光器放電腔的電極機(jī)構(gòu)的示意圖；

圖2是本實(shí)用新型的氣體激光器放電腔的電極機(jī)構(gòu)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的示意圖；