[實(shí)用新型]多自由度可替換型電極機(jī)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220376531.7 | 申請日: | 2012-07-31 |
| 公開(公告)號: | CN202737311U | 公開(公告)日: | 2013-02-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳進(jìn)新;王宇 | 申請(專利權(quán))人: | 中國科學(xué)院光電研究院 |
| 主分類號: | H01S3/038 | 分類號: | H01S3/038 |
| 代理公司: | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
| 地址: | 100094*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 自由度 替換 電極 機(jī)構(gòu) | ||
1.一種電極機(jī)構(gòu),用于向氣體激光器的放電腔提供處于電極工作位置的電極,其特征在于,該電極機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)和安裝在該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)上的多個(gè)電極(3),該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)用于使該多個(gè)電極(3)的每一個(gè)移動(dòng)到所述電極工作位置。
2.如權(quán)利要求1所述的電極機(jī)構(gòu),其特征在于,所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)為兩個(gè),所述多個(gè)電極(3)中的每一個(gè)的兩端分別安裝于該兩個(gè)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)上。
3.如權(quán)利要求1所述的電極機(jī)構(gòu),其特征在于,還包括一個(gè)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2),該調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)位于所述電極工作位置的下方,用于調(diào)節(jié)處于電極工作位置的電極(3)在垂直方向的位置和傾斜角度。
4.如權(quán)利要求1所述的電極機(jī)構(gòu),其特征在于,所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)為履帶式結(jié)構(gòu),其包括主動(dòng)輪(11)、從動(dòng)輪(12)和圍繞所述主動(dòng)輪(11)和從動(dòng)輪(12)的履帶(13),所述多個(gè)電極(3)安裝于所述履帶(13)上。
5.如權(quán)利要求4所述的電極機(jī)構(gòu),其特征在于,所述主動(dòng)輪(11)由一個(gè)電機(jī)(14)驅(qū)動(dòng)。
6.如權(quán)利要求4所述的電極機(jī)構(gòu),其特征在于,還包括對驅(qū)動(dòng)輪(11)和從動(dòng)輪(12)施加一個(gè)預(yù)施力的機(jī)構(gòu),以使驅(qū)動(dòng)輪(11)和從動(dòng)輪(12)具有相互背離的傾向。
7.如權(quán)利要求6所述的電極機(jī)構(gòu),其特征在于,所述從動(dòng)輪(12)的軸向兩側(cè)向外各伸出一個(gè)凸部(15),并在每個(gè)凸部(15)的靠近驅(qū)動(dòng)輪(11)的一側(cè)固定一個(gè)彈簧5,并使該彈簧5預(yù)壓縮,以使其對所述凸部(15)產(chǎn)生一個(gè)向著遠(yuǎn)離驅(qū)動(dòng)輪(11)的方向的推力。
8.如權(quán)利要求4所述的電極機(jī)構(gòu),其特征在于,在所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)上還安裝有托盤(4),所述電極(3)通過該托盤(4)安裝在所述履帶(13)上。
9.如權(quán)利要求8所述的電極機(jī)構(gòu),其特征在于,所述托盤(4)包括用于與所述電極(3)固定連接的電極連接接口(42),該電極連接接口通過多個(gè)彈簧組(43)與該托盤(4)相連。
10.如權(quán)利要求8所述的電極機(jī)構(gòu),其特征在于,所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)具有兩個(gè),分別位于兩個(gè)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)上的托盤(4)的安裝位置是相互對應(yīng)的,以使處于對應(yīng)位置的兩個(gè)所述托盤(4)共同支撐多個(gè)電極(3)中的每一個(gè)。
11.如權(quán)利要求10所述的電極機(jī)構(gòu),其特征在于,所述托盤(4)的底部設(shè)置有連接接口,該連接接口用于與固定于托盤(4)下方的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)相抵接,所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)用于調(diào)節(jié)處于電極工作位置的電極(3)在垂直方向的位置和傾斜角度。
12.如權(quán)利要求11所述的電極機(jī)構(gòu),其特征在于,所述連接接口為半圓柱形槽(44),所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)的頂部呈半球形,與所述半圓形槽(44)相配合。
13.如權(quán)利要求11所述的電極機(jī)構(gòu),其特征在于,每個(gè)托盤(4)的底部設(shè)置連接接口,所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)為四個(gè),所述四個(gè)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與位于電極工作位置的兩個(gè)托盤(4)的連接接口相抵接,且使得連接接口分別對應(yīng)電極(3)的四個(gè)角。
14.如權(quán)利要求3、11-13中任一項(xiàng)所述的電極機(jī)構(gòu),其特征在于,所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)包括電機(jī)(21)、連接器(22)、螺母(23)和絲杠(24),所述螺母(23)和絲杠(24)組成滾珠絲杠系統(tǒng),所述連接器(22)的一端與所述電機(jī)(21)相連接,另一端與所述螺母(23)固定。
15.如權(quán)利要求14所述的電極機(jī)構(gòu),其特征在于,所述連接器(22)上開有直徑大于絲杠(24)的直徑的導(dǎo)孔,使絲杠(24)可以進(jìn)入連接器(22)的內(nèi)部。
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