[實用新型]用于絲網印刷的設備

有效

• 申請號: 201220374607.2
• 申請日: 2012-07-26
• 公開（公告）號: CN202826675U
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 王瑞萍;鐘聲德;常翔
• 申請（專利權）人: 應用材料意大利有限公司
• 主分類號: B41F15/12
• 分類號: B41F15/12
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 王安武

1.一種用于通過絲網印刷在襯底上沉積圖案化層的設備，包括：

襯底支撐，其上支撐所述襯底；

絲網，其布置在所述襯底支撐上方，并在所述絲網與所述襯底支撐之間具有空間；

印刷刮條，其用于將壓力施加到所述絲網上，使得印刷材料擴散到所述絲網上并轉印到所述襯底上，以形成所述圖案化層；以及

氣體吹送器，其包括氣體源和與所述氣體源連接的出口部分，所述氣體吹送器用于朝向所述絲網與所述襯底支撐之間的所述空間吹送氣體，從而在所述空間內造成氣流。

2.根據權利要求1所述的設備，其中，

所述出口部分在與所述襯底支撐的用于支撐所述襯底的支撐表面垂直的方向上布置在所述絲網與所述襯底支撐之間，并在與所述支撐表面平行的方向上與所述襯底支撐和所述絲網間隔開。

3.根據權利要求1或2所述的設備，其中，

所述出口部分是具有至少一個開口的分配單元。

4.根據權利要求1或2所述的設備，其中，

所述出口部分包括至少一個噴嘴。

5.根據權利要求1所述的設備，其中，

從所述氣體源供應的氣體從由以下氣體組成的群組中選擇：空氣，氮氣，惰性氣體，以及對于所述絲網、所述襯底和所述印刷材料基本不活潑的其他氣體。

6.根據權利要求1所述的設備，其中，

從所述氣體源供應的氣體是壓縮空氣。

7.根據權利要求1所述的設備，其中，

所述氣體源從由壓縮空氣罐、空氣壓縮機和風扇組成的群組中選擇。

8.根據權利要求1所述的設備，其中，

所述出口部分沿著與所述絲網基本平行的方向吹送氣體。

9.根據權利要求1所述的設備，其中，

所述出口部分沿著與所述絲網形成的角度不大于45度的方向吹送氣體。