[實用新型]用于絲網印刷的設備

有效

• 申請號: 201220374607.2
• 申請日: 2012-07-26
• 公開（公告）號: CN202826675U
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 王瑞萍;鐘聲德;常翔
• 申請（專利權）人: 應用材料意大利有限公司
• 主分類號: B41F15/12
• 分類號: B41F15/12
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 王安武

技術領域

本實用新型的實施例一般地涉及用于通過絲網印刷在襯底上沉積圖案化層的設備。

背景技術

已知一種用于在襯底(具體而言但不限于是用于光伏(PV)電池的晶片)上得到諸如導電跡線之類的圖案化層的技術是絲網印刷，其使用諸如漿料之類的合適印刷材料以及根據要沉積的期望圖案而被適當刻畫的合適絲網來進行。絲網印刷使用一個或多個刀或刷(其也被稱為印刷刮條)，來將壓力施加到絲網上，使得漿料擴散到絲網上并被轉印到襯底上。

在過去十年間，PV市場經歷了年成長率超過30％的成長。高市場成長率與實質上降低太陽電力成本的需求帶來了對價廉地形成高質量太陽能電池的多方面嚴峻挑戰。因此，一個主要挑戰是提高在用于PV電池的晶片上圖案化層的制造精度。

因此，存在對于能夠得到精確的圖案而不會顯著增加工藝的成本和復雜度的、用于通過絲網印刷在襯底上沉積圖案化層的設備和方法的需求。

實用新型內容

在本實用新型的一實施例中，提供了一種用于通過絲網印刷在襯底上沉積圖案化層的設備，包括：襯底支撐，其上支撐所述襯底；絲網，其布置在所述襯底支撐上方，并在所述絲網與所述襯底支撐之間具有空間；印刷刮條，其用于將壓力施加到所述絲網上，使得印刷材料擴散到所述絲網上并轉印到所述襯底上，以形成所述圖案化層；以及氣體吹送器，其包括氣體源和與所述氣體源連接的出口部分，所述氣體吹送器用于朝向所述絲網與所述襯底支撐之間的所述空間吹送氣體，從而在所述空間內造成氣流。

此外，使用該設備來通過絲網印刷在襯底上沉積圖案化層的方法包括以下步驟：將襯底布置在襯底支撐上，絲網布置在所述襯底支撐上方，并且在所述絲網與所述襯底支撐之間具有空間；通過經由印刷刮條將壓力施加到所述絲網，使得印刷材料擴散到所述絲網上并轉印到所述襯底上，來形成所述圖案化層；朝向所述絲網與所述襯底支撐之間的空間吹送氣體，以在所述空間中造成氣流；并且從所述襯底支撐取出經過處理得到的所述襯底。

附圖說明

參照附圖，根據下文對實施例的詳細說明，本實用新型將變得更加清楚。在附圖中，

圖1是根據本實用新型的絲網印刷設備的示意性正視圖；

圖2是如圖1所示的絲網印刷設備的示意性俯視圖；

圖3示出了根據本實用新型用作氣體吹送器的出口部分的分配單元的示例；

圖4是根據本實用新型的絲網印刷設備所執行的絲網印刷方法的流程圖；并且

圖5示出了根據現有技術的對比示例處理得到的襯底的一部分的顯微圖像以及根據本實用新型的示例處理得到的襯底的一部分的顯微圖像。

具體實施方式

將在下文參照附圖詳細描述本實用新型的示例性實施例，在附圖中，相同的附圖標記用于表示相同或相似的部件。

圖1是根據本實用新型的絲網印刷設備100的示意性正視圖，圖2是如圖1所示的絲網印刷設備100的示意性俯視圖。絲網印刷設備100適于使用印刷材料(例如，漿料)通過絲網印刷在襯底上沉積圖案化層。如圖1和圖2所示，絲網印刷設備100包括襯底支撐101、絲網102、印刷刮條103和氣體吹送器104。襯底支撐101被構造為用其支撐表面101a來支撐要被沉積的襯底110。絲網102根據期望要沉積的圖案而被適當地刻畫，并被布置在襯底支撐101上方，并且，在絲網102與襯底支撐101之間具有空間120。在一個實施例中，空間120具有3-5mm的高度。印刷刮條103布置在絲網102以上，并被構造為在絲網印刷期間向絲網施加壓力并沿著絲網移動，使得印刷材料被擴散到絲網上并被轉印到襯底上。

氣體吹送器104被構造為將氣體朝向空間120吹送，以造成空間120中的氣流。氣體吹送器104包括氣體源131和連接到氣體源131的出口部分132。在一個實施例中，氣體源131利用流體管線連接到出口部分132。在另一實施例中，氣體源131與出口部分132一體化。

氣體源131適于將氣體供應到出口部分132。在一個實施例中，由氣體源131供應的氣體從以下氣體組成的群組中選擇：空氣，氮氣，惰性氣體(例如氬氣)，以及對于絲網、要被沉積的襯底和印刷材料基本不活潑的其他氣體。在另一實施例中，由氣體源131供應的氣體是空氣或壓縮空氣。在一個實施例中，氣體源131是填充有壓縮空氣的壓縮空氣罐。在另一實施例中，氣體源131是空氣壓縮機。在又一實施例中，氣體源131是風扇。